[實用新型]一種基板承載架和高溫烘烤設備

有效

• 申請號: 201720404531.6
• 申請日: 2017-04-17
• 公開（公告）號: CN206685361U
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發明（設計）人: 蒲杰;奉洛陽;韓大偉;蔣國
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司11291
• 代理人: 郭潤湘

技術領域

本實用新型涉及顯示器制備技術領域，尤其涉及一種基板承載架和高溫烘烤設備。

背景技術

現有的高溫烘烤設備具有高溫腔室，高溫腔室沿其高度方向間隔設有承載架，承載架如圖1和圖2所示，一般包括：相互平行設置的第一支撐桿01和第二支撐桿02，第一支撐桿01和第二支撐桿02的兩端固定于高溫腔室內的支撐件03上，第一支撐桿01和第二支撐桿02的兩端背離所述支撐件03的一側分別設有支撐基板的探針04，探針04在第一支撐桿01和第二支撐桿02上的位置相對固定，如圖2所示，承載架從基板05的兩側對基板05進行支撐，基板05的中部處于懸空。

但是，當基板05較重時，基板05的中部彎曲量會較大(如圖2所示的虛線)，這樣，一方面會影響機械手拿取基板，另一方面會對位于其下方的基板產生干涉。

實用新型內容

本實用新型實施例提供了一種基板承載架和高溫烘烤設備，用以提高基板承載架的支撐強度以及支撐穩定性，減少基板中部彎曲現象的發生。

為達到上述目的，本實用新型提供以下技術方案：

本實用新型提供了一種基板承載架，包括：第一支撐桿和第二支撐桿，還包括：

第三支撐桿，所述第三支撐桿用于連接所述第一支撐桿的第一端和所述第二支撐桿的第一端；

第四支撐桿，所述第四支撐桿的第一端與所述第三支撐桿連接，且所述第四支撐桿位于所述第一支撐桿和所述第二支撐桿之間，所述第四支撐桿沿其長度方向間隔設有多個用于支撐基板的支撐單元。

本實用新型提供的基板承載架，在原有的支撐結構上，通過增加的第四支撐桿以及第四支撐桿上的支撐單元，可以提高基板承載架的支撐強度以及支撐穩定性，可以增加基板的支撐點，減少基板中部彎曲現象的發生。

故，本實用新型提供的基板承載架，具有較好的支撐強度，可以減少基板中部彎曲現象的發生。

在一些可選的實施方式中，每個所述支撐單元與所述第四支撐桿滑動連接、且可以鎖止于所述第四支撐桿的任意位置處。這樣可以便于調整支撐單元與基板的接觸位置，可以使得支撐單元避讓開基板的顯示區域，使得基板承載架可以用于支撐不同尺寸的基板。

在一些可選的實施方式中，每個所述支撐單元包括：

套裝于所述第四支撐桿上的安裝部，所述安裝部上設有螺紋孔和用于支撐基板的凸起；

鎖止件，所述鎖止件與所述螺紋孔螺紋連接、用于將所述支撐單元與所述第四支撐桿固定。結構簡單，便于調整支撐單元的位置。

在一些可選的實施方式中，所述凸起與所述安裝部為一體式結構。

在一些可選的實施方式中，所述安裝部上設有安裝孔，所述凸起固定安裝于所述安裝孔內。將凸起設置為與安裝部可拆卸安裝，便于更換凸起。

在一些可選的實施方式中，所述凸起為軸承。

在一些可選的實施方式中，所述凸起為陶瓷材料的凸起或三氧化二鋁材料的凸起或氮化硅材料的凸起或二氧化鋯材料的凸起。可以減少凸起對基板造成劃傷現象的發生。

在一些可選的實施方式中，所述第一支撐桿和所述第二支撐桿的長度相同，所述第四支撐桿的長度大于等于所述第一支撐桿的長度的二分之一且小于等于所述第一支撐桿的長度的三分之二。由于基板承載架安裝于高溫烘烤設備中時，只有第一支撐桿和第二支撐桿的兩端具有支撐，即第四支撐桿的第二端為懸空設置的，為了保證第四支撐桿的支撐強度，故將第四支撐桿的長度設置為大于等于所述第一支撐桿的長度的二分之一且小于等于所述第一支撐桿的長度的三分之二。

在一些可選的實施方式中，所述第一支撐桿、所述第二支撐桿以及所述第四支撐桿兩兩相互平行設置。便于對基板進行支撐，可以較好的避讓開基板的顯示區域。

本實用新型還提供了一種高溫烘烤設備，包括：高溫烘烤腔室，還包括至少一個如上述任一項所述的基板承載架，其中所述第三支撐桿位于遠離所述高溫烘烤室的開口的一側。由于上述基板承載架具有較好的支撐強度以及支撐穩定性，可以減少基板中部彎曲現象的發生。故本實用新型提供的高溫烘烤設備具有較好的操作方便性。

附圖說明

圖1為現有技術中的承載架的結構示意圖；

圖2為現有技術中的承載架用于高溫烘烤設備中的結構示意圖；

圖3為本實用新型實施例提供的基板承載架在第一方位上的結構示意圖；

圖4為本實用新型實施例提供的基板承載架承載玻璃后的結構示意圖；

圖5為本實用新型實施例提供的基板承載架在第二方位上的結構示意圖；

圖6為本實用新型實施例提供的基板承載架在第三方位上的結構示意圖；