[實用新型]一種硅片運輸裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720399083.5 | 申請日: | 2017-04-17 |
| 公開(公告)號: | CN207116390U | 公開(公告)日: | 2018-03-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 侯玉;韓少鵬;張春華;衡陽;李琰琪;王鈺雅;鄭旭然;邢國強 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司11332 | 代理人: | 張海英,林波 |
| 地址: | 215129 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 硅片 運輸 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種硅片運輸裝置。
背景技術(shù)
常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡,在現(xiàn)有的可持續(xù)能源中,太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。太陽能發(fā)電裝置又稱為太陽能電池或光伏電池,可以將太陽能直接轉(zhuǎn)換成電能,其發(fā)電原理是基于半導(dǎo)體PN結(jié)的光生伏特效應(yīng)。太陽能發(fā)電裝置的核心是電池片,目前絕大多數(shù)都采用硅片制成。
現(xiàn)有技術(shù)中,晶體硅太陽能電池的制備工藝主要包括:清洗、去損傷層、制絨、擴散制結(jié)、刻蝕、沉積減反射膜、印刷、燒結(jié)、電池片測試。其中,花籃是各工序之間電池片傳遞的重要工具,起到關(guān)鍵性的連接作用。在電池片生產(chǎn)過程中,從制絨開始便嚴(yán)格區(qū)分PN面,擴散在N面,刻蝕處理P面,PECVD在N面,絲網(wǎng)印刷先P面印鋁漿而后N面印柵線;由此可以看出,在整個電池片生產(chǎn)過程中,必須嚴(yán)格區(qū)分P、N面,一旦某個工序出現(xiàn)顛倒,會導(dǎo)致整個電池片報廢。因此,區(qū)分P、N面在電池制作過程中,起到?jīng)Q定性作用。
目前車間使用的花籃有兩種,其中一種為100pcs的花籃,主要用于制絨,擴散,刻蝕,PECVD工序,另一種為50pcs的花籃,主要用于絲網(wǎng)印刷。在使用時,采用同一種小推車運輸花籃,而花籃放在推車上時,由于小車無P、N面區(qū)別,在多道工序之間轉(zhuǎn)換取放時,因批量操作難免發(fā)生錯 誤使得P、N面顛倒,并且工人區(qū)分P、N面也需要一定時間,因而在使用過程中費時費力,且容易發(fā)生P、N面混淆而導(dǎo)致硅片報廢。另外,花籃之間無防碰撞設(shè)計,推車無減震裝置,也給電池片運輸造成極大的隱患。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于提出一種硅片運輸裝置,能夠很好地區(qū)別硅片的P、N面,進(jìn)而避免在多道工序之間轉(zhuǎn)換取放時使P、N面顛倒,降低硅片報廢率。
為達(dá)此目的,本實用新型采用以下技術(shù)方案:
一種硅片運輸裝置,包括車架,所述車架沿著豎直方向間隔設(shè)置有多層用于放置裝硅片的花籃的底板,所述底板的一組相對設(shè)置的側(cè)邊分別設(shè)置有豎直向上延伸的邊緣擋板框,所述底板的中部設(shè)置有豎直向上延伸的中間擋板框,所述中間擋板框與每一所述邊緣擋板框之間均形成卡放花籃的空間,每個所述空間對應(yīng)的所述中間擋板框的一側(cè)面和所述邊緣擋板框分別設(shè)置有配合所述花籃的P面結(jié)構(gòu)的P面擋板和配合所述花籃的N面結(jié)構(gòu)的N面擋板,位于所述邊緣擋板框的所述P面擋板和/或所述N面擋板的一端均與所述邊緣擋板框為可活動連接。
作為一種優(yōu)選,所述中間擋板框和每一所述邊緣擋板框之間均設(shè)置有與所述中間擋板框相交的多個隔板,多個所述隔板平行間隔設(shè)置,以將每個所述空間分隔為所述花籃進(jìn)出的多個通道,每個所述通道的兩端分別設(shè)置有一所述P面擋板和一所述N面擋板。
作為一種優(yōu)選,兩個所述邊緣擋板框分別為第一邊緣擋板框和第二邊緣擋板框,
所述第一邊緣擋板框的第一開口處可拆卸安裝有所述P面擋板,所述第二邊緣擋板框的第二開口處可拆卸安裝有所述N面擋板,所述中間擋板框的對應(yīng)所述第一邊緣擋板框的一側(cè)面一體式形成有所述N面擋板,所述中間擋板框的對應(yīng)所述第二邊緣擋板框的另一側(cè)面一體式形成有所述P面擋板;或
所述第一邊緣擋板框的第一開口處可拆卸安裝有所述N面擋板,所述第二邊緣擋板框的第二開口處可拆卸安裝有所述P面擋板,所述中間擋板框的對應(yīng)所述第一邊緣擋板框的一側(cè)面一體式形成有所述P面擋板,所述中間擋板框的對應(yīng)所述第二邊緣擋板框的另一側(cè)面一體式形成有所述N面擋板;或
所述第一邊緣擋板框的第一開口處和所述第二邊緣擋板框的第二開口處均可拆卸安裝有所述P面擋板,所述中間擋板框的兩側(cè)面均一體式形成有所述N面擋板;或
所述第一邊緣擋板框的第一開口處和所述第二邊緣擋板框的第二開口處均可拆卸安裝有所述N面擋板,所述中間擋板框的兩側(cè)面均一體式形成有所述P面擋板。
作為一種優(yōu)選,所述花籃的所述P面結(jié)構(gòu)包括回字型的P面結(jié)構(gòu)本體,所述P面結(jié)構(gòu)本體的兩個側(cè)邊和底邊均開設(shè)有第一定位孔,頂邊開設(shè)有半圓形的第二定位孔;
對應(yīng)的,所述P面擋板包括回字型的P面擋板本體,所述P面擋板本體的其中兩個側(cè)邊和底邊均朝向所述空間內(nèi)部延伸有第一凸起,頂邊朝向所述空間內(nèi)部延伸有半圓形的第二凸起;
所述第一凸起對應(yīng)于所述第一定位孔,所述第二凸起對應(yīng)于所述第二定位孔。
作為一種優(yōu)選,所述花籃的所述N面結(jié)構(gòu)包括U型的N面結(jié)構(gòu)本體, 所述N面結(jié)構(gòu)本體的兩個側(cè)邊和底邊均開設(shè)有第三定位孔,頂部開口;
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





