[實(shí)用新型]硅片自動(dòng)糾正裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720397333.1 | 申請日: | 2017-04-14 |
| 公開(公告)號(hào): | CN206602105U | 公開(公告)日: | 2017-10-31 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 孫鐵囤;姚偉忠;湯平 | 申請(專利權(quán))人: | 常州億晶光電科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務(wù)所(普通合伙)32258 | 代理人: | 鄭云 |
| 地址: | 213000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 硅片 自動(dòng) 糾正 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種硅片自動(dòng)糾正裝置。
背景技術(shù)
硅片是光伏電池將光能轉(zhuǎn)化為電能的核心部件,硅片是由硅錠切割為硅塊,再經(jīng)切割形成一張張的硅片,再對(duì)硅片進(jìn)行清洗、甩干,為確保清洗、甩干效果,通過插片機(jī)將硅片插入插片盒中,插片盒中設(shè)有多道分別從兩側(cè)壁延伸至底部的鏤空插槽,并將硅片插入至插槽中,現(xiàn)有硅片都是自動(dòng)滑入至插槽內(nèi),硅片在滑動(dòng)過程中會(huì)出現(xiàn)左右晃動(dòng)現(xiàn)象,從而使得硅片在到達(dá)插槽時(shí)出現(xiàn)傾斜狀態(tài),從而導(dǎo)致硅片的一部分露在外面,在進(jìn)行下一片硅片插入時(shí),會(huì)使得上一片硅片與設(shè)備發(fā)生碰撞,使得硅片直接損壞,增加生產(chǎn)成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是:為了解決硅片在到達(dá)插槽時(shí)出現(xiàn)傾斜狀態(tài)的問題,現(xiàn)提供了一種硅片自動(dòng)糾正裝置。
本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種硅片自動(dòng)糾正裝置,包括機(jī)架及設(shè)置在機(jī)架上的框架,所述機(jī)架上設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)框架上升或者下降的第一驅(qū)動(dòng)裝置,還包括控制單元、推板、接近開關(guān)、第一微動(dòng)開關(guān)和第二微動(dòng)開關(guān),所述框架傾斜設(shè)置在所述機(jī)架上,所述機(jī)架的一端設(shè)有用于輸送硅片的輸送帶,所述機(jī)架上設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)輸送帶轉(zhuǎn)的第二驅(qū)動(dòng)裝置,所述框架上設(shè)有用于插設(shè)插片盒的插槽,所述框架位于所述輸送帶的輸出端,所述接近開關(guān)位于所述輸送帶的輸出端,所述推板位于機(jī)架遠(yuǎn)離輸送帶的一端,所述機(jī)架上設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)推板靠近或者遠(yuǎn)離框架的第三驅(qū)動(dòng)裝置,所述第一微動(dòng)開關(guān)設(shè)置在所述機(jī)架上,所述第一微動(dòng)開關(guān)位于框架靠近推板的一側(cè),所述框架的兩側(cè)均設(shè)有第二微動(dòng)開關(guān),所述推板內(nèi)開設(shè)有卡槽,所述第二微動(dòng)開關(guān)設(shè)置在所述卡槽的底部,所述卡槽底部的兩側(cè)均設(shè)了所述第二微動(dòng)開關(guān),所述第一微動(dòng)開關(guān)、第二微動(dòng)開關(guān)、接近開關(guān)、第一驅(qū)動(dòng)裝置、第二驅(qū)動(dòng)裝置和第三驅(qū)動(dòng)裝置均與控制單元信號(hào)連接。
本實(shí)用新型在運(yùn)行時(shí),插片盒插設(shè)在框架上的插槽內(nèi),通過輸送帶將硅片輸送至插片盒內(nèi)的隔板之間,當(dāng)硅片觸發(fā)接近開關(guān)時(shí),控制單元使得第一微動(dòng)開關(guān)和第二微動(dòng)開關(guān)電路接通,當(dāng)硅片順利插入至插片盒時(shí),框架兩側(cè)的第一微動(dòng)開關(guān)均與硅片接觸并觸發(fā),控制單元控制第一驅(qū)動(dòng)裝置并帶動(dòng)框架下降,輸送帶將下一片硅片輸送至插片盒內(nèi);當(dāng)硅片在插片盒內(nèi)發(fā)生傾斜時(shí),硅片的兩側(cè)不與第一微動(dòng)開關(guān)接觸,控制單元控制第三驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)推板靠近硅片,使得硅片插入到推板的卡槽內(nèi),在推板的推動(dòng)下硅片在插片盒內(nèi)滑動(dòng),在滑動(dòng)過程中硅片會(huì)自行矯正,當(dāng)硅片觸發(fā)兩側(cè)的第二微動(dòng)開關(guān)時(shí),控制單元控制第三驅(qū)動(dòng)裝置收縮,由于框架傾斜設(shè)置的,在重力作用下重新滑入到插片盒內(nèi),直至硅片觸發(fā)兩側(cè)的第一微動(dòng)開關(guān),控制單元控制第一驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)框架下降。
為了防止硅片歪斜的插入到框架上的插片盒內(nèi),進(jìn)一步地,所述輸送帶與所述框架之間設(shè)有連接板,所述連接板上開設(shè)有導(dǎo)向孔,所述導(dǎo)向孔的一端與所述輸送帶的輸出端相對(duì)應(yīng),所述導(dǎo)向孔的另一端與框架相對(duì)應(yīng)。通過導(dǎo)向孔對(duì)硅片的導(dǎo)向,更好的對(duì)硅片進(jìn)行限位,使得硅片更加順利的插入到插片盒內(nèi)。
使得硅片在導(dǎo)向孔內(nèi)順利通過,進(jìn)一步地,所述導(dǎo)向孔具有依次連接的導(dǎo)向段和限位段,所述限位段為相互平行的直線段,所述導(dǎo)向段為與限位段傾斜的斜面,所述斜面由一端向另一端逐漸向內(nèi)傾斜,所述導(dǎo)向段靠近所述輸送帶。在硅片通過導(dǎo)向孔時(shí),首先由導(dǎo)向段將硅片引導(dǎo)至導(dǎo)向孔內(nèi),在由限位段對(duì)硅片進(jìn)行限位,保證硅片順利通過,同時(shí)也保證硅片順利插入到插槽內(nèi)。
優(yōu)選地,所述第一驅(qū)動(dòng)裝置、第三驅(qū)動(dòng)裝置均為氣缸,所述第二驅(qū)動(dòng)裝置為電機(jī)。
本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型硅片自動(dòng)糾正裝置在使用時(shí),通過輸送帶輸送硅片到框架內(nèi)的插片盒,由接近開關(guān)檢測是否有硅片通過,在無硅片通過時(shí),框架保持原狀,當(dāng)接近開關(guān)檢測到油硅片通過時(shí),再通過第一微動(dòng)開關(guān)檢測硅片是否順利插入到插片盒內(nèi),在硅片出現(xiàn)歪斜時(shí),通過第三驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)推板向框架方向伸出,使得硅片插入到卡槽內(nèi),并將硅片向框架外推出,推板在推動(dòng)硅片時(shí)會(huì)緩慢糾正硅片,在硅片觸發(fā)兩側(cè)的第二微動(dòng)開關(guān)時(shí),控制單元控制控制第三驅(qū)動(dòng)裝置收縮,使得硅片重新滑入到插片盒內(nèi),重復(fù)上述步驟,直至硅片觸發(fā)第一微動(dòng)開關(guān),能夠自動(dòng)對(duì)傾斜硅片進(jìn)行糾正,避免了硅片在到達(dá)插槽時(shí)出現(xiàn)傾斜狀態(tài),從而導(dǎo)致硅片的一部分露在外面,在進(jìn)行下一片硅片插入時(shí),會(huì)使得上一片硅片與設(shè)備發(fā)生碰撞,使得硅片直接損壞,增加生產(chǎn)成本的問題。
附圖說明
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
圖1是本實(shí)用新型硅片自動(dòng)糾正裝置的主視圖;
圖2是凸1中A的局部放大圖;
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





