[實用新型]硅片自動糾正裝置

有效

• 申請號: 201720397333.1
• 申請日: 2017-04-14
• 公開（公告）號: CN206602105U
• 公開（公告）日: 2017-10-31
• 發明（設計）人: 孫鐵囤;姚偉忠;湯平
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙)32258
• 代理人: 鄭云

1.一種硅片自動糾正裝置，包括機架(1)及設置在機架(1)上的框架(2)，所述機架(1)上設置有用于驅動框架(2)上升或者下降的第一驅動裝置(3)，其特征在于：還包括控制單元(4)、推板(5)、接近開關(6)、第一微動開關(8)和第二微動開關(9)，所述框架(2)傾斜設置在所述機架(1)上，所述機架(1)的一端設有用于輸送硅片的輸送帶(10)，所述機架(1)上設有用于驅動輸送帶(10)轉的第二驅動裝置(11)，所述框架(2)上設有用于插設插片盒的插槽(201)，所述框架(2)位于所述輸送帶(10)的輸出端，所述接近開關(6)位于所述輸送帶(10)的輸出端，所述推板(5)位于機架(1)遠離輸送帶(10)的一端，所述機架(1)上設有用于驅動推板(5)靠近或者遠離框架(2)的第三驅動裝置(7)，所述第一微動開關(8)設置在所述機架(1)上，所述第一微動開關(8)位于框架(2)靠近推板(5)的一側，所述框架(2)的兩側均設有第二微動開關(9)，所述推板(5)內開設有卡槽(501)，所述第二微動開關(9)設置在所述卡槽(501)的底部，所述卡槽(501)底部的兩側均設了所述第二微動開關(9)，所述第一微動開關(8)、第二微動開關(9)、接近開關(6)、第一驅動裝置(3)、第二驅動裝置(11)和第三驅動裝置(7)均與控制單元(4)信號連接。

2.根據權利要求1所述的硅片自動糾正裝置，其特征在于：所述輸送帶(10)與所述框架(2)之間設有連接板(12)，所述連接板(12)上開設有導向孔(13)，所述導向孔(13)的一端與所述輸送帶(10)的輸出端相對應，所述導向孔(13)的另一端與框架(2)相對應。

3.根據權利要求2所述的硅片自動糾正裝置，其特征在于：所述導向孔(13)具有依次連接的導向段(13-1)和限位段(13-2)，所述限位段(13-2)為相互平行的直線段，所述導向段(13-1)為與限位段(13-2)傾斜的斜面，所述斜面由一端向另一端逐漸向內傾斜，所述導向段(13-1)靠近所述輸送帶(10)。

4.根據權利要求1所述的硅片自動糾正裝置，其特征在于：所述第一驅動裝置(3)、第三驅動裝置(7)均為氣缸，所述第二驅動裝置(11)為電機。