[實用新型]一種亞微米級精密微裝鍵合裝置

有效

• 申請號: 201720390774.9
• 申請日: 2017-04-13
• 公開（公告）號: CN206834159U
• 公開（公告）日: 2018-01-02
• 發明（設計）人: 呂成鳳
• 申請（專利權）人: 深圳市銘德自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 深圳市深聯知識產權代理事務所(普通合伙)44357
• 代理人: 徐炫

1.一種亞微米級精密微裝鍵合裝置，包括機架臺面(1)，其特征在于，所述機架臺面(1)上設有下真空腔(2)、X/Y/θ三軸調節機構(3)和橫移機構(4)，且橫移機構(4)設于下真空腔(2)的一側，所述X/Y/θ三軸調節機構(3)設于橫移機構(4)上，且機架臺面(1)上設有顯示器(5)，所述下真空腔(2)為中空結構，所述下真空腔(2)內設有靜電吸附平臺(21)，且下真空腔(2)的一側設有真空吸附口(22)，所述真空吸附口(22)延伸至下真空腔(2)外，所述下真空腔(2)上設有觀察窗(23)，所述X/Y/θ三軸調節機構(3)包括三軸對位平臺(31)，所述三軸對位平臺(31)上設有載物臺(32)，所述載物臺(32)為中空結構，所述載物臺(32)內設有三色復合面光源(33)，所述橫移機構(4)包括模組安裝立柱(41)，所述模組安裝立柱(41)的數量為兩個，且模組安裝立柱(41)設于機架臺面(1)上，所述模組安裝立柱(41)上設有第一精密線性模組(42)，所述第一精密線性模組(42)遠離模組安裝立柱(41)的一側設有橫移安裝板(43)，所述橫移安裝板(43)上設有第二精密線性模組(456)和第三精密線性模組(441)，且第三精密線性模組(441)設于第二精密線性模組(456)的一側，所述第二精密線性模組(456)上設有安裝板(455)，且安裝板(455)的底端設有上真空腔(45)，所述上真空腔(45)上設有壓合氣缸(451)，且壓合氣缸(451)貫穿上真空腔(45)，所述上真空腔(45)的底端設有密封圈(452)，且壓合氣缸(451)通過活塞桿連接有壓合板(453)，所述壓合板(453)的底端設有粘著板(454)，所述第三精密線性模組(441) 上設有鏡頭燕尾調節模組(442)，所述鏡頭燕尾調節模組(442)的一側設有高像素相機(443)，且高像素相機(443)的底端設有高倍率鏡頭(444)，且高倍率鏡頭(444)連接有三色復合面光源(33)。

2.根據權利要求1所述的一種亞微米級精密微裝鍵合裝置，其特征在于，所述機架臺面(1)分別對稱開設有螺紋孔，且安裝立柱(41)通過鎖緊螺栓安裝于機架臺面(1)上。

3.根據權利要求1所述的一種亞微米級精密微裝鍵合裝置，其特征在于，所述顯示器(5)通過固定支架設于機架臺面(1)上。

4.根據權利要求1所述的一種亞微米級精密微裝鍵合裝置，其特征在于，所述機架臺面(1)的底端四角處設有減震結構。