[實用新型]襯底有效
申請號: | 201720388304.9 | 申請日: | 2017-04-11 |
公開(公告)號: | CN206804195U | 公開(公告)日: | 2017-12-26 |
發明(設計)人: | 唐永炳;石磊;蔣春磊 | 申請(專利權)人: | 深圳先進技術研究院 |
主分類號: | G01L5/00 | 分類號: | G01L5/00 |
代理公司: | 廣州三環專利商標代理有限公司44202 | 代理人: | 郝傳鑫,熊永強 |
地址: | 518055 廣東省深圳*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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摘要: | |||
搜索關鍵詞: | 襯底 | ||
【權利要求書】:
1.一種襯底,其特征在于,所述襯底包括相對布置的測量面和鍍膜面,所述測量面為拋光面。
2.根據權利要求1所述的襯底,其特征在于,所述襯底的厚度為0.1~1mm。
3.根據權利要求1所述的襯底,其特征在于,所述測量面為化學拋光處理形成的拋光面。
4.根據權利要求1所述的襯底,其特征在于,所述測量面的粗糙度小于0.04μm。
5.根據權利要求1所述的襯底,其特征在于,所述鍍膜面為經過鍍膜預處理的鍍膜面。
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