[實用新型]用于薄膜制程鋁銅濺射機臺零部件再生的水射流槍

有效

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• 申請日: 2017-04-11
• 公開（公告）號: CN206854197U
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 范銀波
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽高芯眾科半導體有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02
• 代理公司: 蘇州市方略專利代理事務所(普通合伙)32267
• 代理人: 馬廣旭

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于光電清洗技術(shù)領(lǐng)域，尤其是用于薄膜制程鋁銅濺射機臺零部件再生的水射流槍。

背景技術(shù)

光電技術(shù)領(lǐng)域使用的零部件，往往對清潔度、表面均勻度、工藝穩(wěn)定性的要求較高，微量的雜質(zhì)、不均勻的表面和膜質(zhì)等都會影響零部件的性能。因此在光電領(lǐng)域內(nèi)清洗、打磨、除雜、噴涂等工序是非常重要的一系列技術(shù)，很多工藝需要經(jīng)過對現(xiàn)有的設(shè)備進行非標定制才能滿足其使用要求。

濺射機臺零部件表面有一層膜，膜質(zhì)使用后不再適用于后續(xù)生產(chǎn)要求時，需要對該層膜質(zhì)進行剝離，從而使零部件再生、重新鍍膜。現(xiàn)有水射流具有較高的壓力，大約在2400kgf/m²，如果對著機臺零部件直射，如此大的壓強被零部件吸收，剝離膜層效果雖好，卻勢必會對零部件表面造成一定的損傷；而如果大幅減小水射流壓力，則可能能不至于對機臺造成損傷，此時剝離膜層的效果就較差。因此，一方面應該保留較大的水壓，使之能夠發(fā)揮剝離膜層作用，另一方面，改造出水射流的形態(tài)，使之更符合剝離膜層的需要，為了能夠剝離不同的膜層，針對工藝靈活性進行改進也顯得非常有必要。

實用新型內(nèi)容

實用新型目的：為了改進現(xiàn)有水射流槍的結(jié)構(gòu)，使之符合濺射機臺零部件的清洗要求，在不讓高水壓破壞機臺零部件結(jié)構(gòu)的前提下，達到剝離膜質(zhì)的功能，本實用新型提供一種用于薄膜制程鋁銅濺射機臺零部件再生的水射流槍，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。

實用新型內(nèi)容：用于薄膜制程鋁銅濺射機臺零部件再生的水射流槍，包括主殼體、副管體、活動連接部，所述主殼體中心具有主水道，主殼體下端一體地圍繞有第一限位部，所述副管體上端一體地圍繞有第二限位部，所述活動連接部包括上螺套、主軸承、下螺套，所述上螺套套接于主殼體下端并被第一限位部限位，所述下螺套套接于副管體上端并被第二限位部限位，所述第一限位部下表面和第二限位部上表面配合一主軸承，所述上螺套與下螺套以螺紋配合連接；

所述副管體中心貫穿有主水道延伸部并與主水道正對，所述主水道延伸部向下連通有若干副水道，所述副水道圍繞副管體向下以螺旋狀延伸，所述副水道尾部上側(cè)具有彎折部，副水道末端切線方向與水平方向成斜角，所述副水道末端上部還具有導流塊。

作為優(yōu)選，所述彎折部數(shù)量為2，分別為第一彎折部和第二彎折部，第二彎折部末端作為副水道末端。彎折部跟導流塊一樣用于導流，數(shù)量為2使導流方向不突變、更平順。

作為優(yōu)選，所述副水道的數(shù)量為3或4且均勻圍繞主水道的中軸線布置。副水道的數(shù)量和布置方式能保證清洗除膜時覆蓋面廣，且實現(xiàn)了效率和經(jīng)濟性的統(tǒng)一。

作為優(yōu)選，所述第一限位部和第二限位部的外徑相等，所述第一限位部和上螺套之間、第二限位部和下螺套之間還分別套接有橡膠墊圈，所述主軸承為平面推力球軸承。橡膠墊既有緩沖作用又有密封作用，平面推力球軸承保障副管體能夠順暢旋轉(zhuǎn)。

作為優(yōu)選，所述水射流槍內(nèi)部介質(zhì)為純水或超純水，所述副水道末端切線方向與水平面所成角度的正切值介于0.004到0.2之間。為了清洗效果更好，純水或超純水時必要的，且根據(jù)工藝情況選取，副水道末端角度具有很大意義，角度反映了工藝的剝離膜質(zhì)和沖擊的分量。

作為優(yōu)選，所述副水道末端下側(cè)所在平面與第二彎折部平行。副水道末端也為導流部分，盡量保證和上端平行減小水利損失。

和現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果在于：本實用新型的用于薄膜制程鋁銅濺射機臺零部件再生的水射流槍，結(jié)構(gòu)緊湊、工藝靈活性強。活動連接部靈活方便，可使副管體在主殼體拆裝，同時更換墊件而變化水射條件，如將主軸承換成墊片可鎖止；副管體由于主軸承的滾動作用和水力反沖作用而在主殼體下旋轉(zhuǎn)，無需外部動力；副管體內(nèi)部的副水道及其末端的設(shè)計能形成因紊流和反射而形成的旋轉(zhuǎn)水流，構(gòu)思精巧。本實用新型以簡潔的結(jié)構(gòu)，不僅實現(xiàn)了管體靜止情況下的水射流旋轉(zhuǎn)，也加入了管體本身旋轉(zhuǎn)的機構(gòu)，工藝靈活多變，對于濺射機臺零部件的清洗具有很大的幫助。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

1-主殼體，10-主水道，11-第一限位部，12-主水道延伸部，2-副管體，20-副水道，21-第二限位部，22-彎折部，221-第一彎折部，222-第二彎折部，23-導流塊，3-活動連接部，31-上螺套，32-主軸承（平面推力球軸承），33-下螺套，34-橡膠墊圈。

具體實施方式