[實用新型]用于薄膜制程鋁銅濺射機臺零部件再生的水射流槍

有效

• 申請號: 201720370113.X
• 申請日: 2017-04-11
• 公開（公告）號: CN206854197U
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 范銀波
• 申請（專利權）人: 安徽高芯眾科半導體有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02
• 代理公司: 蘇州市方略專利代理事務所(普通合伙)32267
• 代理人: 馬廣旭

1.用于薄膜制程鋁銅濺射機臺零部件再生的水射流槍，其特征在于，包括主殼體、副管體、活動連接部，所述主殼體中心具有主水道，主殼體下端一體地圍繞有第一限位部，所述副管體上端一體地圍繞有第二限位部，所述活動連接部包括上螺套、主軸承、下螺套，所述上螺套套接于主殼體下端并被第一限位部限位，所述下螺套套接于副管體上端并被第二限位部限位，所述第一限位部下表面和第二限位部上表面配合一主軸承，所述上螺套與下螺套以螺紋配合連接；

所述副管體中心貫穿有主水道延伸部并與主水道正對，所述主水道延伸部向下連通有若干副水道，所述副水道圍繞副管體向下以螺旋狀延伸，所述副水道尾部上側具有彎折部，副水道末端切線方向與水平方向成斜角，所述副水道末端上部還具有導流塊。

2.根據權利要求1所述的用于薄膜制程鋁銅濺射機臺零部件再生的水射流槍，其特征在于，所述彎折部數量為2，分別為第一彎折部和第二彎折部，第二彎折部末端作為副水道末端。

3.根據權利要求1所述的用于薄膜制程鋁銅濺射機臺零部件再生的水射流槍，其特征在于，所述副水道的數量為3或4且均勻圍繞主水道的中軸線布置。

4.根據權利要求1所述的用于薄膜制程鋁銅濺射機臺零部件再生的水射流槍，其特征在于，所述第一限位部和第二限位部的外徑相等，所述第一限位部和上螺套之間、第二限位部和下螺套之間還分別套接有橡膠墊圈，所述主軸承為平面推力球軸承。

5.根據權利要求1所述的用于薄膜制程鋁銅濺射機臺零部件再生的水射流槍，其特征在于，所述水射流槍內部介質為純水或超純水，所述副水道末端切線方向與水平面所成角度的正切值介于0.004到0.2之間。

6.根據權利要求2所述的用于薄膜制程鋁銅濺射機臺零部件再生的水射流槍，其特征在于，所述副水道末端下側所在平面與第二彎折部平行。