[實用新型]光學監控系統多片式膜厚修正裝置

有效

• 申請號: 201720334791.0
• 申請日: 2017-03-31
• 公開（公告）號: CN206706201U
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發明（設計）人: 王靜輝;鄭燕飛;鄧琪
• 申請（專利權）人: 王靜輝;鄭燕飛;鄧琪
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C16/52
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及到膜修復技術領域，尤其涉及光學監控系統多片式膜厚修正裝置。

背景技術

常規的鍍膜材料只能對應一片膜厚修正板，只能采用單光路光學監控形式，鍍膜過程中難以做到實時修正，監控精度比較低；而且最多可以實現三種材料鍍膜過程的膜厚修正，市場現有技術方案為三片式結構，每一種鍍膜材料對應一片膜厚修正板，不能夠滿足現代社會對高性能膜厚修正裝置的需求。

本發明設計了光學監控系統多片式膜厚修正裝置，該裝置應用于多光路光學監控系統，可同時對基板多個半徑進行監控，且在鍍膜過程中可根據膜厚均勻性變化，使用兩片不同形狀的膜厚修正板進行切換，大大提高了光學監控精度和膜厚的均勻性。此多片式膜厚修正裝置的應用使光學監控精度提高一個數量級，鍍膜良率提高2-3倍此外，該光學監控系統多片式膜厚修正裝置結構設計合理，使用安裝方便、穩定，適合推廣使用。

實用新型內容

為了克服背景技術中存在的缺陷，本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：光學監控系統多片式膜厚修正裝置，包括膜厚修正板支架、膜厚修正板和基板，所述膜厚修正板通過螺釘和定位銷釘固定在膜厚修正板支架上，所述膜厚修正板的個數為8個，所述膜厚修正板均勻分布在膜厚修正板支架上，所述基板的直徑大于膜厚修正板支架的直徑。

優選的所述基板的中心到膜厚修正板支架的中心之間的距離大于基板和膜厚修正板支架的半徑和。

優選的所述膜厚修正板由金屬或塑料材質制備而成。

本實用新型所涉及的光學監控系統多片式膜厚修正裝置，該裝置應用于多光路光學監控系統，可同時對基板多個半徑進行監控，且在鍍膜過程中可根據膜厚均勻性變化，使用兩片不同形狀的膜厚修正板進行切換，大大提高了光學監控精度和膜厚的均勻性。此多片式膜厚修正裝置的應用使光學監控精度提高一個數量級，鍍膜良率提高2-3倍此外，該光學監控系統多片式膜厚修正裝置結構設計合理，使用安裝方便、穩定，適合推廣使用。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型光學監控系統多片式膜厚修正裝置的結構示意圖；

其中:1、膜厚修正板支架；2、膜厚修正板；3、螺釘；4、定位銷釘；5、基板。

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。附圖為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

具體實施例，請參閱圖1，光學監控系統多片式膜厚修正裝置，包括膜厚修正板支架1、膜厚修正板2和基板5，所述膜厚修正板2通過螺釘3和定位銷釘4固定在膜厚修正板支架1上，所述膜厚修正板2的個數為8個，所述膜厚修正板2均勻分布在膜厚修正板支架1上，所述基板5的直徑大于膜厚修正板支架1的直徑，所述基板5的中心到膜厚修正板支架1的中心之間的距離大于基板5和膜厚修正板支架1的半徑和，所述膜厚修正板2由金屬或塑料材質制備而成。

本實用新型所涉及的光學監控系統多片式膜厚修正裝置，該裝置應用于多光路光學監控系統，可同時對基板多個半徑進行監控，且在鍍膜過程中可根據膜厚均勻性變化，使用兩片不同形狀的膜厚修正板進行切換，大大提高了光學監控精度和膜厚的均勻性。此多片式膜厚修正裝置的應用使光學監控精度提高一個數量級，鍍膜良率提高2-3倍此外，該光學監控系統多片式膜厚修正裝置結構設計合理，使用安裝方便、穩定，適合推廣使用。

顯然，上述實施例僅僅是為清楚地說明所作的舉例，而并非對實施方式的限定。對于所屬領域的普通技術人員來說，在上述說明的基礎上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本發明創造的保護范圍之中。