[實用新型]光學監(jiān)控系統(tǒng)多片式膜厚修正裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720334791.0
• 申請日: 2017-03-31
• 公開（公告）號: CN206706201U
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發(fā)明（設計）人: 王靜輝;鄭燕飛;鄧琪
• 申請（專利權）人: 王靜輝;鄭燕飛;鄧琪
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C16/52
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.光學監(jiān)控系統(tǒng)多片式膜厚修正裝置，包括膜厚修正板支架（1）、膜厚修正板（2）和基板（5），其特征在于：所述膜厚修正板（2）通過螺釘（3）和定位銷釘（4）固定在膜厚修正板支架（1）上，所述膜厚修正板（2）的個數(shù)為8個，所述膜厚修正板（2）均勻分布在膜厚修正板支架（1）上，所述基板（5）的直徑大于膜厚修正板支架（1）的直徑。

2.根據(jù)權利要求1所述的光學監(jiān)控系統(tǒng)多片式膜厚修正裝置，其特征在于，所述基板（5）的中心到膜厚修正板支架（1）的中心之間的距離大于基板（5）和膜厚修正板支架（1）的半徑和。

3.根據(jù)權利要求1所述的光學監(jiān)控系統(tǒng)多片式膜厚修正裝置，其特征在于，所述膜厚修正板（2）由金屬或塑料材質(zhì)制備而成。