[實用新型]一種降低LCD低盒厚產品不良率的雙旋轉陰極鍍膜系統

有效

• 申請號: 201720334619.5
• 申請日: 2017-03-31
• 公開（公告）號: CN207193383U
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發明（設計）人: 馬曉亮
• 申請（專利權）人: 江門億都半導體有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司44205
• 代理人: 梁嘉琦

1.一種降低LCD低盒厚產品不良率的雙旋轉陰極鍍膜系統，其特征在于：包括濺射腔，所述濺射腔內設置有承載待鍍膜LCD玻璃的載板(1)和兩套旋轉濺射裝置(2)，所述旋轉濺射裝置(2)包括環形靶柱(21)和帶動環形靶柱(21)旋轉的傳動裝置，所述環形靶柱(21)內固定有兩個以上的磁鋼(22)，相鄰磁鋼(22)面向環形靶柱(21)的極性相反，所述環形靶柱(21)內還設置有端部固定塊(23)，所述磁鋼(22)固定于端部固定塊(23)中，所述端部固定塊(23)與環形靶柱(21)之間設置有軸承，所述環形靶柱(21)圍繞磁鋼(22)轉動，所述端部固定塊(23)與環形靶柱(21)之間構成一密閉的注水腔(24)，還包括一水循環裝置(3)，所述注水腔(24)通過水循環管道與水循環裝置(3)連接。

2.根據權利要求1所述的一種降低LCD低盒厚產品不良率的雙旋轉陰極鍍膜系統，其特征在于：所述傳動裝置包括用于帶動環形靶柱(21)轉動的旋轉塊(4)和電機(5)，所述電機(5)通過齒輪組件(6)帶動旋轉塊(4)轉動。

3.根據權利要求2所述的一種降低LCD低盒厚產品不良率的雙旋轉陰極鍍膜系統，其特征在于：所述旋轉塊(4)設置于一冷卻腔體(7)內，所述冷卻腔體(7)通過水循環管道與水循環裝置(3)連接。

4.根據權利要求1所述的一種降低LCD低盒厚產品不良率的雙旋轉陰極鍍膜系統，其特征在于：所述環形靶柱(21)內設置有3個磁鋼(22)。

5.根據權利要求1至4任一所述的一種降低LCD低盒厚產品不良率的雙旋轉陰極鍍膜系統，其特征在于：所述環形靶柱(21)整體由氧化硅組成。