[實用新型]單晶爐及其副室有效
| 申請號： | 201720322216.9 | 申請日： | 2017-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN206635452U | 公開（公告）日： | 2017-11-14 |
| 發明（設計）人： | 沈浩鋒;周杰;周林偉;朱偉忠;陳騮 | 申請（專利權）人： | 天通吉成機器技術有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/00 | 分類號： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉興*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 單晶爐 及其 | ||
1.一種單晶爐的副室，其特征在于，所述副室(1)為伸縮式結構。
2.根據權利要求1所述的副室，其特征在于，所述副室(1)包括：
剛性副室(11)；
可軸向變形抗壓副室(12)，與所述剛性副室(11)連接，用于軸向變形伸縮；
第一副室伸縮機構(13)，所述第一副室伸縮機構(13)的升降兩端分別連接在所述可軸向變形抗壓副室(12)的兩端。
3.根據權利要求2所述的副室，其特征在于，所述可軸向變形抗壓副室(12)為伸縮波紋管。
4.根據權利要求2或3所述的副室，其特征在于，所述可軸向變形抗壓副室(12)設置于所述剛性副室(11)的一端或兩端或中間位置。
5.根據權利要求2或3所述的副室，其特征在于，所述第一副室伸縮機構(13)包括：
電機(131)，設置于所述可軸向變形抗壓副室(12)的一端；
絲桿(133)，與所述電機(131)的輸出端傳動連接；
螺紋套(134)，設置于所述可軸向變形抗壓副室(12)的另一端，且與所述絲桿(133)螺紋配合連接。
6.根據權利要求5所述的副室，其特征在于，所述第一副室伸縮機構(13)還包括減速機(132)，所述絲杠(133)通過所述減速機(132)與所述電機(131)的輸出端傳動連接。
7.根據權利要求1所述的副室，其特征在于，所述副室(1)包括：
至少兩個可相對軸向移動套接的剛性副室(11)；
第二副室伸縮機構，所述第二副室伸縮機構的升降兩端分別連接所述副室(1)的兩端。
8.一種單晶爐，包括副室(1)、主爐室(2)、提拉頭(4)和豎直機架(7)，其特征在于，所述副室(1)為如權利要求1-7任一項所述的副室(1)，所述副室(1)的底端連接于所述主爐室(2)的爐蓋上，所述副室(1)的頂端與所述提拉頭(4)連接。
9.根據權利要求8所述的單晶爐，其特征在于，所述副室(1)的可軸向變形抗壓副室(12)的兩端分別與所述剛性副室(11)和所述提拉頭(4)連接，所述副室(1)的第一副室伸縮機構((13))的升降兩端分別連接于所述提拉頭(4)和所述剛性副室(11)上。
10.根據權利要求8或9所述的單晶爐，其特征在于，所述提拉頭(4)通過轉動支架(5)水平轉動連接于所述豎直機架(7)上。
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