[實用新型]一種納米金屬薄膜制備箱

有效

• 申請號: 201720321909.6
• 申請日: 2017-03-30
• 公開（公告）號: CN206607307U
• 公開（公告）日: 2017-11-03
• 發明（設計）人: 張忠帆
• 申請（專利權）人: 張忠帆
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及納米金屬薄膜制備技術領域，具體為一種納米金屬薄膜制備箱。

背景技術

隨著科技的發展，人們對產品的要求越來越高，而產品的外殼直接影響產品的質量，因此納米技術的到廣泛的應用，納米金屬薄膜是比較常見的納米材料，但傳統的納米金屬薄膜的制備設備過于復雜和昂貴，大大限制了納米金屬薄膜的使用。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種納米金屬薄膜制備箱，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種納米金屬薄膜制備箱，包括納米金屬薄膜制備箱主體，所述納米金屬薄膜制備箱主體內設有電離室、制備室和冷卻室，所述電離室、所述制備室和所述冷卻室在所述納米金屬薄膜制備箱主體內從上到下依次設置，所述電離室內設有陽極壁，所述陽極壁內設有陰極板，所述電離室底部對應所述陰極板的位置上設有噴射口，所述噴射口貫穿所述陽極壁，所述納米金屬薄膜制備箱主體外側頂部對應所述陽極壁和所述陰極板之間的位置上設有進氣口，所述納米金屬薄膜制備箱主體外側對應所述冷卻室的位置上設有進液口和出液口，所述冷卻室內部設有冷卻管道，所述冷卻管道的兩端分別與所述進液口和所述出液口連接。

優選的，所述制備室內設有基片，所述基片設置在所述制備室底部對應所述噴射口的位置上。

優選的，所述納米金屬薄膜制備箱主體外側對應所述制備室的位置上設有箱門，所述箱門的一側與所述納米金屬薄膜制備箱主體鉸接。

優選的，所述箱門上設有鎖定裝置和把手，所述鎖定裝置設置在所述把手的上方。

優選的，所述箱門上設有觀察窗，所述觀察窗設置為矩形結構。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果如下：

1、本實用新型結構設計合理，通過采用噴射法來制備納米金屬薄膜，使沉積速度更快，能夠適用于復雜的表面，同時可以使用各種基片材料，且基片不需進行損傷表面的預處理；

2、觀察窗的增添設計，能夠觀察到納米金屬薄膜在制備過程中的各個階段，便于對納米金屬薄膜制備的研究和改進。

附圖說明

圖1為本實用新型一種納米金屬薄膜制備箱的內部結構示意圖；

圖2為本實用新型一種納米金屬薄膜制備箱的外部結構示意圖；

圖3為本實用新型冷卻室的內部結構示意圖。

圖中：1-納米金屬薄膜制備箱主體，2-電離室，3-制備室，4-冷卻室，5-陽極壁，6-陰極板，7-噴射口，8-進氣口，9-進液口，10-出液口，11-冷卻管道，12-基片，13-箱門，14-鎖定裝置，15-把手，16-觀察窗。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1-3，本實用新型提供一種技術方案：一種納米金屬薄膜制備箱，包括納米金屬薄膜制備箱主體1，所述納米金屬薄膜制備箱主體1內設有電離室2、制備室3和冷卻室4，所述電離室2、所述制備室3和所述冷卻室4在所述納米金屬薄膜制備箱主體1內從上到下依次設置，所述電離室2內設有陽極壁5，所述陽極壁5內設有陰極板6，所述電離室2底部對應所述陰極板6的位置上設有噴射口7，所述噴射口7貫穿所述陽極壁5，所述納米金屬薄膜制備箱主體1外側頂部對應所述陽極壁5和所述陰極板6之間的位置上設有進氣口8，所述納米金屬薄膜制備箱主體1外側對應所述冷卻室4的位置上設有進液口9和出液口10，所述冷卻室4內部設有冷卻管道11，所述冷卻管道11的兩端分別與所述進液口9和所述出液口10連接。

所述制備室3內設有基片12，所述基片12設置在所述制備室3底部對應所述噴射口7的位置上，所述納米金屬薄膜制備箱主體1外側對應所述制備室3的位置上設有箱門13，所述箱門13的一側與所述納米金屬薄膜制備箱主體1鉸接，所述箱門13上設有鎖定裝置14和把手15，所述鎖定裝置14設置在所述把手15的上方，所述箱門13上設有觀察窗16，所述觀察窗16設置為矩形結構。