[實(shí)用新型]一種納米金屬薄膜制備箱

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720321909.6
• 申請(qǐng)日: 2017-03-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206607307U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張忠帆
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 張忠帆
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/32
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/32
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種納米金屬薄膜制備箱，包括納米金屬薄膜制備箱主體(1)，其特征在于：所述納米金屬薄膜制備箱主體(1)內(nèi)設(shè)有電離室(2)、制備室(3)和冷卻室(4)，所述電離室(2)、所述制備室(3)和所述冷卻室(4)在所述納米金屬薄膜制備箱主體(1)內(nèi)從上到下依次設(shè)置，所述電離室(2)內(nèi)設(shè)有陽(yáng)極壁(5)，所述陽(yáng)極壁(5)內(nèi)設(shè)有陰極板(6)，所述電離室(2)底部對(duì)應(yīng)所述陰極板(6)的位置上設(shè)有噴射口(7)，所述噴射口(7)貫穿所述陽(yáng)極壁(5)，所述納米金屬薄膜制備箱主體(1)外側(cè)頂部對(duì)應(yīng)所述陽(yáng)極壁(5)和所述陰極板(6)之間的位置上設(shè)有進(jìn)氣口(8)，所述納米金屬薄膜制備箱主體(1)外側(cè)對(duì)應(yīng)所述冷卻室(4)的位置上設(shè)有進(jìn)液口(9)和出液口(10)，所述冷卻室(4)內(nèi)部設(shè)有冷卻管道(11)，所述冷卻管道(11)的兩端分別與所述進(jìn)液口(9)和所述出液口(10)連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種納米金屬薄膜制備箱，其特征在于：所述制備室(3)內(nèi)設(shè)有基片(12)，所述基片(12)設(shè)置在所述制備室(3)底部對(duì)應(yīng)所述噴射口(7)的位置上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種納米金屬薄膜制備箱，其特征在于：所述納米金屬薄膜制備箱主體(1)外側(cè)對(duì)應(yīng)所述制備室(3)的位置上設(shè)有箱門(mén)(13)，所述箱門(mén)(13)的一側(cè)與所述納米金屬薄膜制備箱主體(1)鉸接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種納米金屬薄膜制備箱，其特征在于：所述箱門(mén)(13)上設(shè)有鎖定裝置(14)和把手(15)，所述鎖定裝置(14)設(shè)置在所述把手(15)的上方。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種納米金屬薄膜制備箱，其特征在于：所述箱門(mén)(13)上設(shè)有觀察窗(16)，所述觀察窗(16)設(shè)置為矩形結(jié)構(gòu)。