[實用新型]一種單晶爐真空管道清理裝置

有效

• 申請號: 201720319930.2
• 申請日: 2017-03-29
• 公開（公告）號: CN207161975U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 周杰;沈浩鋒;周林偉;朱偉忠;王謨
• 申請（專利權）人: 天通吉成機器技術有限公司
• 主分類號: F16L55/24
• 分類號: F16L55/24;C30B15/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 李海建

技術領域

本實用新型涉及單晶生長技術領域，特別涉及一種單晶爐真空管道清理裝置。

背景技術

單晶爐是一種在惰性氣體環境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設備。

現有的單晶爐主要包括主爐室、副室、晶體提拉機構、抽真空裝置、充惰性氣體裝置等。在向單晶爐中裝入物料后，需要對單晶爐進行抽真空，之后再充入惰性氣體。抽真空通過抽真空裝置進行，抽真空裝置主要包括真空管道和真空泵，真空管道連接真空泵和單晶爐。在長晶過程中，產生的SiO_x會吸附在真空管道內壁上，長時間會堵塞真空管道，影響長晶。

綜上所說，如何解決真空管道被SiO_x堵塞的問題，成為了本領域技術人員亟待解決的問題。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種單晶爐真空管道清理裝置，以對單晶爐的真空管道進行清理，防止堵塞，保證長晶正常進行。

為達到上述目的，本實用新型提供以下技術方案：

一種單晶爐真空管道清理裝置，包括真空管道和真空泵，還包括：

與所述真空管道連通的供氣管道，用于向所述真空管道內通入含氧氣體；

設置在所述供氣管道上的通斷閥。

優選地，在上述的單晶爐真空管道清理裝置中，所述通斷閥為氣動閥或電動閥或手動閥。

優選地，在上述的單晶爐真空管道清理裝置中，還包括設置在所述供氣管道上的節流閥。

優選地，在上述的單晶爐真空管道清理裝置中，還包括設置在所述供氣管道上的限流式墊片。

優選地，在上述的單晶爐真空管道清理裝置中，所述供氣管道上沿靠近所述真空管道的方向依次設置所述限流式墊片、所述節流閥和所述通斷閥。

優選地，在上述的單晶爐真空管道清理裝置中，所述含氧氣體為空氣、氧氣或含氧混合氣體。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型提供的單晶爐真空管道清理裝置中，在真空管道上連通設置有供氣管道，用于向真空管道內通入含氧氣體，供氣管道上設置通斷閥，控制供氣管道的通斷。工作時，從長晶加熱開始，打開供氣管道上的通斷閥，向真空管道中通入含氧氣體，使真空管道內壁上附著的SiO_x充分燃燒成粉末隨真空泵排出真空管道，防止真空管道堵塞，利于長時間連續長晶工作，從而提高了生產效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型實施例提供的一種單晶爐真空管道清理裝置的結構示意圖。

其中，1為單晶爐、2為真空管道、3為真空泵、4為供氣管道、5為通斷閥、6為節流閥、7為限流式墊片。

具體實施方式

本實用新型的核心是提供了一種單晶爐真空管道清理裝置，能夠對單晶爐的真空管道進行清理，防止堵塞，保證長晶正常進行。

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參考圖1，本實用新型實施例提供了一種單晶爐真空管道清理裝置，包括真空管道2、真空泵3、供氣管道4和通斷閥5。其中，真空管道2與單晶爐1和真空泵3連接；供氣管道4與真空管道2連通，供氣管道4與供氣源連接，用于向真空管道2內通入含氧氣體；通斷閥5設置在供氣管道4上，用于控制供氣管道4的通斷。

該單晶爐真空管道清理裝置的工作原理為：工作時，從長晶加熱開始，打開供氣管道4上的通斷閥5，向真空管道2中通入含氧氣體，使真空管道2內壁上附著的SiO_x充分燃燒成粉末隨真空泵3排出真空管道2，防止真空管道2堵塞，利于長時間連續長晶工作，從而提高了生產效率。

作為優化，在本實施例中，通斷閥5為氣動閥或電動閥或手動閥。只要能夠控制供氣管道4的通斷即可。并不局限于本實施例所列舉的類型。