[實(shí)用新型]一種單晶爐真空管道清理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720319930.2
• 申請(qǐng)日: 2017-03-29
• 公開（公告）號(hào): CN207161975U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周杰;沈浩鋒;周林偉;朱偉忠;王謨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天通吉成機(jī)器技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): F16L55/24
• 分類號(hào): F16L55/24;C30B15/00
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 李海建

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及單晶生長(zhǎng)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種單晶爐真空管道清理裝置。

背景技術(shù)

單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長(zhǎng)無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。

現(xiàn)有的單晶爐主要包括主爐室、副室、晶體提拉機(jī)構(gòu)、抽真空裝置、充惰性氣體裝置等。在向單晶爐中裝入物料后，需要對(duì)單晶爐進(jìn)行抽真空，之后再充入惰性氣體。抽真空通過抽真空裝置進(jìn)行，抽真空裝置主要包括真空管道和真空泵，真空管道連接真空泵和單晶爐。在長(zhǎng)晶過程中，產(chǎn)生的SiO_x會(huì)吸附在真空管道內(nèi)壁上，長(zhǎng)時(shí)間會(huì)堵塞真空管道，影響長(zhǎng)晶。

綜上所說，如何解決真空管道被SiO_x堵塞的問題，成為了本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種單晶爐真空管道清理裝置，以對(duì)單晶爐的真空管道進(jìn)行清理，防止堵塞，保證長(zhǎng)晶正常進(jìn)行。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供以下技術(shù)方案：

一種單晶爐真空管道清理裝置，包括真空管道和真空泵，還包括：

與所述真空管道連通的供氣管道，用于向所述真空管道內(nèi)通入含氧氣體；

設(shè)置在所述供氣管道上的通斷閥。

優(yōu)選地，在上述的單晶爐真空管道清理裝置中，所述通斷閥為氣動(dòng)閥或電動(dòng)閥或手動(dòng)閥。

優(yōu)選地，在上述的單晶爐真空管道清理裝置中，還包括設(shè)置在所述供氣管道上的節(jié)流閥。

優(yōu)選地，在上述的單晶爐真空管道清理裝置中，還包括設(shè)置在所述供氣管道上的限流式墊片。

優(yōu)選地，在上述的單晶爐真空管道清理裝置中，所述供氣管道上沿靠近所述真空管道的方向依次設(shè)置所述限流式墊片、所述節(jié)流閥和所述通斷閥。

優(yōu)選地，在上述的單晶爐真空管道清理裝置中，所述含氧氣體為空氣、氧氣或含氧混合氣體。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

本實(shí)用新型提供的單晶爐真空管道清理裝置中，在真空管道上連通設(shè)置有供氣管道，用于向真空管道內(nèi)通入含氧氣體，供氣管道上設(shè)置通斷閥，控制供氣管道的通斷。工作時(shí)，從長(zhǎng)晶加熱開始，打開供氣管道上的通斷閥，向真空管道中通入含氧氣體，使真空管道內(nèi)壁上附著的SiO_x充分燃燒成粉末隨真空泵排出真空管道，防止真空管道堵塞，利于長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)長(zhǎng)晶工作，從而提高了生產(chǎn)效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種單晶爐真空管道清理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，1為單晶爐、2為真空管道、3為真空泵、4為供氣管道、5為通斷閥、6為節(jié)流閥、7為限流式墊片。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型的核心是提供了一種單晶爐真空管道清理裝置，能夠?qū)尉t的真空管道進(jìn)行清理，防止堵塞，保證長(zhǎng)晶正常進(jìn)行。

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參考圖1，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種單晶爐真空管道清理裝置，包括真空管道2、真空泵3、供氣管道4和通斷閥5。其中，真空管道2與單晶爐1和真空泵3連接；供氣管道4與真空管道2連通，供氣管道4與供氣源連接，用于向真空管道2內(nèi)通入含氧氣體；通斷閥5設(shè)置在供氣管道4上，用于控制供氣管道4的通斷。

該單晶爐真空管道清理裝置的工作原理為：工作時(shí)，從長(zhǎng)晶加熱開始，打開供氣管道4上的通斷閥5，向真空管道2中通入含氧氣體，使真空管道2內(nèi)壁上附著的SiO_x充分燃燒成粉末隨真空泵3排出真空管道2，防止真空管道2堵塞，利于長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)長(zhǎng)晶工作，從而提高了生產(chǎn)效率。

作為優(yōu)化，在本實(shí)施例中，通斷閥5為氣動(dòng)閥或電動(dòng)閥或手動(dòng)閥。只要能夠控制供氣管道4的通斷即可。并不局限于本實(shí)施例所列舉的類型。