[實用新型]一種單晶爐真空管道清理裝置有效
| 申請號： | 201720319930.2 | 申請日： | 2017-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN207161975U | 公開（公告）日： | 2018-03-30 |
| 發明（設計）人： | 周杰;沈浩鋒;周林偉;朱偉忠;王謨 | 申請（專利權）人： | 天通吉成機器技術有限公司 |
| 主分類號： | F16L55/24 | 分類號： | F16L55/24;C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉興*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 單晶爐 真空 管道 清理 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種單晶爐真空管道清理裝置，包括真空管道(2)和真空泵(3)，其特征在于，還包括：
與所述真空管道(2)連通的供氣管道(4)，用于向所述真空管道(2)內通入含氧氣體，所述含氧氣體與所述真空管道(2)內壁上附著的SiOx充分燃燒成粉末隨所述真空泵(3)排出所述真空管道(2)；
設置在所述供氣管道(4)上的通斷閥(5)。
2.根據權利要求1所述的單晶爐真空管道清理裝置，其特征在于，所述通斷閥(5)為氣動閥或電動閥或手動閥。
3.根據權利要求1或2所述的單晶爐真空管道清理裝置，其特征在于，還包括設置在所述供氣管道(4)上的節流閥(6)。
4.根據權利要求3所述的單晶爐真空管道清理裝置，其特征在于，還包括設置在所述供氣管道(4)上的限流式墊片(7)。
5.根據權利要求4所述的單晶爐真空管道清理裝置，其特征在于，所述供氣管道(4)上沿靠近所述真空管道(2)的方向依次設置所述限流式墊片(7)、所述節流閥(6)和所述通斷閥(5)。
6.根據權利要求1-2、4-5任一項所述的單晶爐真空管道清理裝置，其特征在于，所述含氧氣體為空氣、氧氣或含氧混合氣體。
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