[實用新型]一種帶有探針保護裝置的針測機

有效

• 申請號: 201720314169.3
• 申請日: 2017-03-29
• 公開（公告）號: CN206758407U
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發明（設計）人: 王印璽;江姜;陶源
• 申請（專利權）人: 安徽超元半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司31300
• 代理人: 董澤宇

1.一種帶有探針保護裝置的針測機，包括測試機（1）、連接電路板（2）、彈簧針塔式連接器（3）、機械臂（9）、探針卡（4）、光學影像系統（10）、待測晶圓（6）、承載托盤（7）和針測機（8）；所述探針卡（4）包括探針卡底板（11）和探針（5）,其特征在于：在所述針測機光學影像系統（10）旁邊安裝有一個紅外感應器（12），所述紅外感應器（12）的監控報警裝置信號通過信號傳感器（13）、電磁繼電器（14）、信號放大器（15）組成的電路進行放大和傳遞，并與針測機現有的前門打開后報警裝置相連接實現報警功能，所述針測機（8）上設置有安全距離。

2.根據權利要求1 所述的一種帶有探針保護裝置的針測機，其特征在于，所述紅外感應器（12）安裝的高度與光學影像系統（10）安裝的高度相同。

3.根據權利要求1 所述的一種帶有探針保護裝置的針測機，其特征在于，所述光學影像系統（10）距離探針卡底板（11）的安全距離大于探針（5）的長度。

4.根據權利要求1 所述的一種帶有探針保護裝置的針測機，其特征在于，所述探針（5）的長度介于0.16㎜～0.91㎜之間。