[實用新型]一種用于半導體晶片冷卻的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720309793.4
• 申請日: 2017-03-28
• 公開（公告）號: CN206628461U
• 公開（公告）日: 2017-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 魏興政;李浩
• 申請（專利權(quán)）人: 濟南蘭星電子有限公司
• 主分類號: H01L23/367
• 分類號: H01L23/367;H05K7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于半導體冷卻裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導體晶片冷卻的裝置。

背景技術(shù)

在半導體器件制造過程中，需經(jīng)過很多高溫處理的工序，之后需要冷卻，硅半導體是晶體，在高溫狀態(tài)下，晶格排列會重新排列，所以降溫很重要，它直接影響半導體晶片內(nèi)應(yīng)力，另外，半導體器件對雜質(zhì)非常敏感，在降溫過程中還應(yīng)不被環(huán)境雜質(zhì)的污染。

目前業(yè)內(nèi)普遍的做法是在空氣中冷卻，更有甚者是用風吹的方式讓晶片急速降溫，這樣對晶片內(nèi)應(yīng)力以及空氣的污染情況沒有可控性，從而導致產(chǎn)品質(zhì)量可靠性和穩(wěn)定性都不理想。

實用新型內(nèi)容

本實用新型針對上述的問題，提供了一種用于半導體晶片冷卻的裝置。

為了達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案為，本實用新型提供一種用于半導體晶片冷卻的裝置，包括長方體箱體，所述長方體箱體上設(shè)置有箱門，所述長方體箱體內(nèi)側(cè)下部設(shè)置有可以移動的傳輸承載機構(gòu)，所述長方體箱體包括內(nèi)箱體和外箱體，所述內(nèi)箱體與外箱體之間設(shè)置有制冷盤管，所述制冷盤管的一端設(shè)置有設(shè)置在外箱體上的制冷進口，另一端設(shè)置有設(shè)置在外箱體制冷出口。

作為優(yōu)選，所述長方體箱體上還設(shè)置有與內(nèi)箱體連通設(shè)置的進氣孔。

作為優(yōu)選，所述傳輸承載機構(gòu)包括移動架以及設(shè)置在移動架上的小型傳送帶組件，所述移動架包括卡位長槽以及用于固定小型傳送帶組件的支撐板。

作為優(yōu)選，所述內(nèi)箱體的內(nèi)側(cè)下部設(shè)置有用于配合卡位長槽的卡位支撐板。

作為優(yōu)選，所述箱門的外側(cè)設(shè)置有把手。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點和積極效果在于，

1、本實用新型中長方體箱體的設(shè)計，既能保證冷卻速度均勻，又能保證晶片免受環(huán)境污染。從而保證所制器件質(zhì)量的可靠性和穩(wěn)定性；

2、其傳輸承載機構(gòu)和卡位支撐板的設(shè)置，則可以使晶片的冷卻更加高效且均勻。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為實施例1提供的用于半導體晶片冷卻的裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為實施例1提供的用于半導體晶片冷卻的裝置(將傳輸承載機構(gòu)從內(nèi)箱體內(nèi)移出)的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

以上各圖中，1、長方體箱體；11、外箱體；12、內(nèi)箱體；13、進氣孔；14、制冷進口；15、制冷出口；16、卡位支撐板；2、箱門；3、傳輸承載機構(gòu)；31、小型傳送帶組件；32、支撐板；33、卡位長槽。

具體實施方式

為了能夠更清楚地理解本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點，下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型做進一步說明。需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請的實施例及實施例中的特征可以相互組合。

在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本實用新型，但是，本實用新型還可以采用不同于在此描述的其他方式來實施，因此，本實用新型并不限于下面公開說明書的具體實施例的限制。

實施例1，如圖1、圖2所示，本實用新型提供了一種用于半導體晶片冷卻的裝置，包括長方體箱體，其長方體箱體上設(shè)置了箱門，從上述的結(jié)構(gòu)可以看出，其長方體箱體與箱門之間可以形成一個密封的空間，即該密封的空間則是用來放承載晶片的載片舟的；從圖中可以看出，其長方體箱體內(nèi)側(cè)下部設(shè)置了可以移動的傳輸承載機構(gòu)，該傳輸承載機構(gòu)則是用來承載載片舟的，即可以更方便的挪放載片舟，相應(yīng)的提高工作效率；為了使箱體內(nèi)部的制冷效果更加均勻，故將長方體箱體包括內(nèi)箱體和外箱體兩部分，很明顯，內(nèi)箱體和外箱體之間是有空間的，該空間則是用來盛放制冷盤管的，其制冷盤管的一端設(shè)置了設(shè)置在外箱體上的制冷進口，另一端設(shè)置了設(shè)置在外箱體制冷出口，很明顯，制冷盤管的設(shè)置，可以使箱體內(nèi)部的待冷卻的晶片，更均勻的冷卻。補充說明一下，長方體箱體和箱門整體是使用耐高溫、不易變形、傳熱性好的材質(zhì)制作，其箱門也是選用能夠制冷的箱門，為了使長方體箱體不漏溫，發(fā)明人在外箱體的外側(cè)設(shè)置保溫層。

從圖1中可以看出，其長方體箱體上設(shè)置了與內(nèi)箱體連通設(shè)置的進氣孔，該進氣孔是通入氣體的，一般為高純惰性氣體，以避免外界雜質(zhì)進入裝置內(nèi)污染晶片。

從圖2中可以看出，其傳輸承載機構(gòu)包括移動架以及設(shè)置在移動架上的小型傳送帶組件，移動架包括卡位長槽以及用于固定小型傳送帶組件的支撐板，其小型傳送帶組件是比較成熟的設(shè)計，故此不作詳細的說明。