[實用新型]干版曝光裝置有效
| 申請號: | 201720293206.7 | 申請日: | 2017-03-24 |
| 公開(公告)號: | CN207067659U | 公開(公告)日: | 2018-03-02 |
| 發明(設計)人: | 杜武兵;黃國勇 | 申請(專利權)人: | 深圳市路維光電股份有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 深圳市翼智博知識產權事務所(普通合伙)44320 | 代理人: | 肖偉 |
| 地址: | 518057 廣東省深圳市南*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 干版 曝光 裝置 | ||
1.一種干版曝光裝置,其特征在于:所述干版曝光裝置包括用于放置干版的載料臺、用于產生激光以照射放置在載料臺上的干版的激光頭以及設置于激光頭與載料臺之間用于對激光頭所發出的激光進行濾光處理以吸收所述激光部分能量的濾光片。
2.如權利要求1所述的干版曝光裝置,其特征在于:所述激光頭為藍光激光頭。
3.如權利要求2所述的干版曝光裝置,其特征在于:所述藍光激光頭為半導體側面泵浦激光模塊。
4.如權利要求1所述的干版曝光裝置,其特征在于:所述濾光片采用中心波長為390nm~410nm之間的帶通型濾光片。
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