[實用新型]一種多腔室間氣氛隔離裝置有效
| 申請號： | 201720290177.9 | 申請日： | 2017-03-23 |
| 公開（公告）號： | CN206591176U | 公開（公告）日： | 2017-10-27 |
| 發明（設計）人： | 蘭立廣 | 申請（專利權）人： | 北京創昱科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56;C23C16/455;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司11002 | 代理人： | 湯財寶 |
| 地址： | 102209 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多腔室間 氣氛 隔離 裝置 | ||
1.一種多腔室間氣氛隔離裝置，其特征在于：包括第一反應腔室和第二反應腔室，所述第一反應腔室與所述第二反應腔室之間設有隔離間室，所述隔離間室內設有第一隔離墻和第二隔離墻；
所述第一隔離墻和第二隔離墻共同圍成進氣腔，所述第一隔離墻與所述第一反應腔室的側壁共同形成第一隔離腔，所述第二隔離墻與所述第二反應腔室的側壁共同形成第二隔離腔；
所述第一隔離墻的頂部設有連通所述進氣腔和所述第一隔離腔的第一進氣狹縫，所述第二隔離墻的頂部設有連通所述進氣腔和所述第二隔離腔的第二進氣狹縫；
所述第一反應腔室的側壁底部設有連通所述第一反應腔室和第一隔離腔的第一排氣狹縫，所述第二反應腔室的側壁底部設有連通所述第二反應腔室和第二隔離腔的第二排氣狹縫；
所述第一隔離腔和第二隔離腔的底部分別設有第一出氣口和第二出氣口，用于連接抽氣裝置；所述進氣腔連接有進氣口，用于連接充氣裝置。
2.根據權利要求1所述的多腔室間氣氛隔離裝置，其特征在于：所述進氣口處設有氣體流量計。
3.根據權利要求1所述的多腔室間氣氛隔離裝置，其特征在于：所述第一反應腔室與所述第二反應腔室并列設置，所述第一隔離墻與所述第二隔離墻設置于所述第一反應腔室與所述第二反應腔室相鄰的兩個側壁之間，且所述第一隔離墻和所述第二隔離墻平行。
4.根據權利要求3所述的多腔室間氣氛隔離裝置，其特征在于：所述第一隔離腔、第二隔離腔以及進氣腔的體積相同。
5.根據權利要求1所述的多腔室間氣氛隔離裝置，其特征在于：所述進氣口設于所述進氣腔的底部。
6.根據權利要求1所述的多腔室間氣氛隔離裝置，其特征在于：所述進氣腔內通入的氣體為惰性氣體。
7.根據權利要求1所述的多腔室間氣氛隔離裝置，其特征在于：所述多腔室間氣氛隔離裝置采用鋁合金或不銹鋼材料制成。
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