[實用新型]光學檢查設備

有效

• 申請號: 201720290027.8
• 申請日: 2017-03-23
• 公開（公告）號: CN206725414U
• 公開（公告）日: 2017-12-08
• 發明（設計）人: 王宣復
• 申請（專利權）人: 華洋精機股份有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/94
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司11006
• 代理人: 梁揮,鮑俊萍

技術領域

本實用新型與光學檢查有關，特別是指一種光學檢查設備。

背景技術

光學檢查技術用以檢查待測物的表面是否存在臟污或內部某一層的圖案是否存在斷線、短路及臟污(particle)，以確保待測物符合特定質量要求。

待測物以晶圓、光罩或玻璃基板為例，由于晶圓、光罩或玻璃基板都是透明的，目前，檢查待測物的上表面時，通常會讓光源照射的入射光軸與待測物的上表面形成的銳角角度接近0度，如此，以確保影像捕獲設備僅擷取待測物的上表面的影像，來降低待測物底層或內部的影像所造成的干擾。但這種方式通常需搭配圖像處理技術來濾除非待測物上表面的影像，而增加檢查步驟的繁瑣。

再者，一般臟污都是立體的，例如顆粒、線或粉末等，因此，光線照射臟污時，臟污的另一面會產生陰影，而使影像捕獲設備無法準確獲得臟污的實際尺寸。

另一種方式，例如中國臺灣發明第I534409號專利揭露一種光學檢測系統，其通過影像捕獲設備的擷取光軸與入射光軸于待測物的上表面的法線呈對稱關系，這種配置雖然可以改善臟污陰影的問題，但仍無法快速檢查待測物。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種光學檢查設備，其可應用于檢查待測物的特定層，例如頂層、底面或其內部的特定層，且不會受到待測物的其他層影像干擾。

為達成上述目的，本實用新型的光學檢查設備包括一光源裝置、一濾光裝置以及一影像捕獲設備。光源裝置沿一入射光軸照射一待測物并在待測物的一臟污形成漫反射光。影像捕獲設備沿一漫反射光軸接收通過濾光裝置的漫反射光。漫反射光軸與入射光軸相對于待測物的一法線呈不對稱。其中，濾光裝置僅允許沿漫反射光軸的漫反射光通過濾光裝置。

其中，該濾光裝置包括一頂面、一底面及一漫反射通道，該漫反射通道貫穿該頂面及該底面，該漫反射光軸通過該漫反射通道。

其中，該濾光裝置包括一入射通道，該入射通道貫穿該頂面及底面，且供該入射光軸通過，并與該底面形成一第一銳角，該漫反射通道與該底面形成一第二銳角，該第一銳角的角度與該第二銳角的角度不相同。

其中，該第一銳角的角度介于50-75度之間，該第二銳角的角度介于50-80度之間。

其中，該濾光裝置包括一定位系統，該光源裝置沿該入射光軸照射該待測物，在該待測物上形成反射光，該影像捕獲設備接收通過該定位系統的反射光。

其中，該定位系統包括貫穿該頂面及該底面的一第一定位通道及一第二定位通道，該第一定位通道與該入射通道相互連通，該第二定位通道與該漫反射通道相互連通，該第一定位通道及該第二定位通道位于該濾光裝置相同側邊。

其中，該光源裝置包括一發光二極管。

如此，當待測物上不存在臟污時，沿入射光軸照射的光線在待測物上依循反射定理反射，因此，反射光線將被濾光裝置濾除(擋住)。當沿入射光軸照射的光線照射到待測物上的臟污時，光線在臟污上形成漫反射光，以使位于漫反射光軸的反射光被影像捕獲設備接收，而形成對應圖案，以達成快速檢查及避免陰影干擾。

附圖說明

圖1是本實用新型的光學檢查設備的示意圖。

圖2是本實用新型的光學檢查設備的濾光裝置的頂視示意圖。

圖3是本實用新型的光學檢查設備檢查到待測物的頂層有臟污的示意圖。

圖4是本實用新型的光學檢查設備的影像捕獲設備檢查待測物后得到的影像。

其中，附圖標記：

10 光學檢查設備

11 光源裝置

111 入射光軸

113 反射光軸

115 漫反射光軸

117 法線

119 內反射光

13 濾光裝置

131 頂面

133 底面

135 入射通道

1351 第一定位通道

137 漫反射通道

1371 第二定位通道

15 影像捕獲設備

30 待測物

31 被檢查層

32 內部的特定層

33 底層

50 臟污

70 定位邊界

θ₁ 第一銳角

θ₂ 第二銳角

具體實施方式