[實(shí)用新型]一種多晶硅鑄錠爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720274212.8
• 申請(qǐng)日: 2017-03-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206692777U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳輝;李少捧;關(guān)樹(shù)軍;張立杰;周冰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京京運(yùn)通科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C30B28/06
• 分類號(hào): C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11291
• 代理人: 黃志華

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及多晶硅錠生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種多晶硅鑄錠爐。

背景技術(shù)

鑄錠爐是專為太陽(yáng)能工業(yè)中多晶硅鑄錠重熔的必需設(shè)備，重熔質(zhì)量的好壞將直接影響硅片轉(zhuǎn)換效率和硅片加工的成品率。該設(shè)備能自動(dòng)或手動(dòng)完成鑄錠過(guò)程，高效節(jié)能，運(yùn)用先進(jìn)的計(jì)算機(jī)控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定定向凝固，生產(chǎn)的多晶硅硅錠質(zhì)量高，規(guī)格大。

現(xiàn)有的多晶硅鑄錠爐設(shè)備都是通過(guò)保溫層的運(yùn)動(dòng)，配合上配方溫度，來(lái)形成鑄錠爐所需要的溫度梯度。當(dāng)加熱器的功率配比確定，加熱器在坩堝內(nèi)形成的等溫線形狀也是確定的。但在很多時(shí)候，鑄錠爐工藝過(guò)程中需要不止一種等溫線形狀，所以現(xiàn)有技術(shù)還有一種雙電源結(jié)構(gòu)的鑄錠爐加熱器。但該雙電源結(jié)構(gòu)的鑄錠爐加熱器受制于加熱器位置的固定，單純雙電源的改變功率配比對(duì)等溫線形狀的影響很小，甚至帶來(lái)負(fù)面影響。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供了一種多晶硅鑄錠爐，以改善鑄錠爐內(nèi)等溫線分布，提高多晶硅鑄錠的品質(zhì)和效率，并降低能耗。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供以下技術(shù)方案：

一種多晶硅鑄錠爐，包括爐體、頂隔熱層、底隔熱層、側(cè)隔熱層、頂加熱器、側(cè)加熱器，加熱器移動(dòng)裝置和坩堝，其中，所述頂隔熱層、底隔熱層和側(cè)隔熱層拼裝包覆于所述坩堝外側(cè)，所述加熱器移動(dòng)裝置與所述側(cè)加熱器電連接、且承載和帶動(dòng)所述側(cè)加熱器移動(dòng)。

優(yōu)選的，所述多晶硅鑄錠爐還包括控制器，所述控制器與所述加熱器移動(dòng)裝置相連接，所述控制器控制所述頂加熱器和側(cè)加熱器的工作狀態(tài)，并通過(guò)所述加熱器移動(dòng)裝置控制所述側(cè)加熱器的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。

優(yōu)選的，所述側(cè)加熱器的位置沿豎直方向可調(diào)。

優(yōu)選的，所述側(cè)隔熱層的位置沿豎直方向高度可調(diào)，當(dāng)所述側(cè)隔熱層上升時(shí)，所述側(cè)隔熱層與所述底隔熱層之間具有開(kāi)口。

優(yōu)選的，所述多晶硅鑄錠爐還包括雙電源結(jié)構(gòu)，所述雙電源結(jié)構(gòu)具有兩個(gè)獨(dú)立的子電源，所述兩個(gè)子電源分別與所述頂加熱器和側(cè)加熱器相連接。

優(yōu)選的，所述爐體與所述雙電源結(jié)構(gòu)絕緣。

優(yōu)選的，所述多晶硅鑄錠爐還包括真空系統(tǒng)，所述真空系統(tǒng)用于維持鑄錠爐工作時(shí)的內(nèi)部真空度。

優(yōu)選的，所述多晶硅鑄錠爐還包括設(shè)置于爐體內(nèi)的檢測(cè)系統(tǒng)，所述檢測(cè)系統(tǒng)具體包括溫度檢測(cè)模塊、壓力檢測(cè)模塊、紅外檢測(cè)模塊、泄露檢測(cè)模塊和流量檢測(cè)模塊中的至少一個(gè)。

優(yōu)選的，所述爐體為不銹鋼爐體。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的多晶硅鑄錠爐，為側(cè)加熱器配置了加熱器移動(dòng)裝置，從而具備了目前所有鑄錠爐沒(méi)有的側(cè)加熱器的移動(dòng)功能。通過(guò)側(cè)加熱器的上下移動(dòng)，配合側(cè)隔熱層的開(kāi)度，再結(jié)合雙電源的功率配比調(diào)節(jié)，能夠更加靈活的改善鑄錠爐內(nèi)等溫線分布，提高多晶硅鑄錠的品質(zhì)和效率，并降低能耗。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的多晶硅鑄錠爐的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型另一實(shí)施例提供的多晶硅鑄錠爐的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型又一實(shí)施例提供的多晶硅鑄錠爐的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型再一實(shí)施例提供的多晶硅鑄錠爐的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：

1-爐體

2-頂隔熱層

3-底隔熱層

4-側(cè)隔熱層

5-頂加熱器

6-側(cè)加熱器

7-加熱器移動(dòng)裝置

8-坩堝

9-控制器

10-雙電源結(jié)構(gòu)

100-子電源

具體實(shí)施方式

為改善鑄錠爐內(nèi)等溫線分布，提高多晶硅鑄錠的品質(zhì)和效率，并降低能耗。本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種多晶硅鑄錠爐。為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，以下舉實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

參考圖1，本實(shí)用新型一種實(shí)施例提供的多晶硅鑄錠爐，包括爐體1、頂隔熱層2、底隔熱層3、側(cè)隔熱層4、頂加熱器5、側(cè)加熱器6，加熱器移動(dòng)裝置7，和坩堝8，其中，頂隔熱層2、底隔熱層3和側(cè)隔熱層4拼裝包覆于坩堝8外側(cè)，加熱器移動(dòng)裝置7與側(cè)加熱器6電連接、且承載和帶動(dòng)側(cè)加熱器6移動(dòng)。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的多晶硅鑄錠爐，為側(cè)加熱器配置了加熱器移動(dòng)裝置，從而具備了目前所有鑄錠爐沒(méi)有的側(cè)加熱器的移動(dòng)功能。通過(guò)側(cè)加熱器的上下移動(dòng)，配合側(cè)隔熱層的開(kāi)度，再結(jié)合雙電源的功率配比調(diào)節(jié)，能夠更加靈活的改善鑄錠爐內(nèi)等溫線分布，提高多晶硅鑄錠的品質(zhì)和效率，并降低能耗。