[實用新型]一種多晶硅鑄錠爐有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720274212.8 | 申請日： | 2017-03-20 |
| 公開（公告）號： | CN206692777U | 公開（公告）日： | 2017-12-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳輝;李少捧;關(guān)樹軍;張立杰;周冰 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京京運通科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C30B28/06 | 分類號： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京同達信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11291 | 代理人： | 黃志華 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 多晶 鑄錠 | ||
1.一種多晶硅鑄錠爐，其特征在于，包括爐體、頂隔熱層、底隔熱層、側(cè)隔熱層、頂加熱器、側(cè)加熱器，加熱器移動裝置和坩堝，其中，所述頂隔熱層、底隔熱層和側(cè)隔熱層拼裝包覆于所述坩堝外側(cè)，所述加熱器移動裝置與所述側(cè)加熱器電連接、且承載和帶動所述側(cè)加熱器移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于，還包括控制器，所述控制器與所述加熱器移動裝置相連接，所述控制器控制所述頂加熱器和側(cè)加熱器的工作狀態(tài)，并通過所述加熱器移動裝置控制所述側(cè)加熱器的運動狀態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于，所述側(cè)加熱器的位置沿豎直方向可調(diào)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于，所述側(cè)隔熱層的位置沿豎直方向高度可調(diào)，當所述側(cè)隔熱層上升時，所述側(cè)隔熱層與所述底隔熱層之間具有開口。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于，還包括雙電源結(jié)構(gòu)，所述雙電源結(jié)構(gòu)具有兩個獨立的子電源，所述兩個子電源分別與所述頂加熱器和側(cè)加熱器相連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于，所述爐體與所述雙電源結(jié)構(gòu)絕緣。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于，還包括真空系統(tǒng)，所述真空系統(tǒng)用于維持鑄錠爐工作時的內(nèi)部真空度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于，還包括設(shè)置于爐體內(nèi)的檢測系統(tǒng)，所述檢測系統(tǒng)包括溫度檢測模塊、壓力檢測模塊、紅外檢測模塊、泄露檢測模塊和流量檢測模塊中的至少一個。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于，所述爐體為不銹鋼爐體。
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