[實用新型]太陽能電池片制備工藝中硅片印刷前預處理裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720273842.3 | 申請日: | 2017-03-20 |
| 公開(公告)號: | CN206574687U | 公開(公告)日: | 2017-10-20 |
| 發(fā)明(設計)人: | 孫鐵囤;姚偉忠;湯平 | 申請(專利權)人: | 常州億晶光電科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司: | 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務所(普通合伙)32258 | 代理人: | 鄭云 |
| 地址: | 213000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 太陽能電池 制備 工藝 硅片 印刷 預處理 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及太陽能電池片制備技術領域,尤其是一種太陽能電池片制備工藝中硅片印刷前預處理裝置。
背景技術
晶體硅太陽能電池的制備工藝主要包括:清洗、去損傷層、制絨、擴散制結、刻蝕、沉積減反射膜、印刷、燒結、電池片測試。其中,印刷是晶體硅太陽能電池生產過程中的一個重要工序,硅片在印刷上一道工序輸送至印刷工序時,硅片自身的溫度偏高且表面容易粘附異物,一方面若硅片表面有雜質,容易扎破網版或硅片破裂,而網版的使用壽命會對生產成本產生較大影響,另一方面硅片自身溫度偏高時網版內漿料有機物的揮發(fā)速率也較快,導致印刷性能差,現有技術中在硅片印刷前,采用風扇直接對著硅片的表面吹拂,達到降溫和除塵的效果,由于硅片放置在輸送帶上,一旦將風扇的風量調大,會發(fā)生硅片從輸送帶上掉落,導致硅片破碎,因此在實際生產過程中風扇的風量都是較為微弱,顯然這種做法也無法做到將硅片的表面異物吹拂干凈,且降溫效果一般。
實用新型內容
本實用新型要解決的技術問題是:為了解決現有技術中硅片印刷前降溫及清潔效果差,硅片上容易殘留異物的問題,現提供一種太陽能電池片制備工藝中硅片印刷前預處理裝置。
本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:一種太陽能電池片制備工藝中硅片印刷前預處理裝置,包括第一皮帶輸送裝置及第二皮帶輸送裝置,所述第一皮帶輸送裝置與第二皮帶輸送裝置之間設置有支架,所述支架的頂端設置有平臺,所述平臺上轉動連接有轉盤,所述平臺的下表面固定有電機,所述電機的輸出端與轉盤固定連接,所述轉盤的下表面對稱設置有第一氣缸和第二氣缸,所述第一氣缸及第二氣缸的伸出端朝下,所述第一氣缸及第二氣缸的伸出端上均固定有回轉氣缸,所述回轉氣缸的輸出端上固定有支桿,所述支桿的下表面固定有若干吸盤,所述轉盤上固定有氣泵,所述氣泵與吸盤連通,所述支架的側方固定有風扇;
所述第一皮帶輸送裝置上的側方設置有側板,所述側板上固定有橫板,所述橫板的下表面等間隔分布有若干條垂簾,所述垂簾位于第一皮帶輸送裝置的正上方。
本方案中啟動電機帶動轉盤轉動,直到第一氣缸下端的支桿正對第一皮帶輸送裝置上的硅片,然后第一氣缸帶動支桿下降,同時啟動氣泵,通過支桿上的吸盤將第一皮帶輸送裝置上的硅片吸附,然后第一氣缸帶動支桿上升一段距離,然后電機帶動轉盤轉動,使得第一氣缸位于第二皮帶輸送裝置上方,同時第二氣缸及其上的支桿位于第一皮帶輸送裝置上方,構成一個循環(huán);其中在轉盤轉動的過程中,回轉氣缸工作將支桿旋轉90°使得硅片的印刷面處于豎直平面內,硅片與空氣的接觸面積大,有利于散熱,硅片表面的異物也會從硅片的表面掉落,轉盤帶動硅片從第一皮帶輸送裝置轉動到第二皮帶輸送裝置時會經過風扇,通過風扇使得硅片進一步散熱和除塵,保證硅片的潔凈和低溫,也不妨礙硅片的輸送;
其中垂簾的設置可以將第一皮帶輸送裝置輸送過來的硅片進行預處理,清除硅片表面較大的異物,防止吸盤無法吸附硅片。
優(yōu)選地,所述垂簾的材質為非織造布。
優(yōu)選地,所述電機為步進電機。
優(yōu)選地,所述風扇的出風風向與水平方向一致。
進一步地,所述第一皮帶輸送裝置和第二皮帶輸送裝置的輸送方向一致。
進一步地,所述第一皮帶輸送裝置和第二皮帶輸送裝置均包括驅動電機、皮帶、主動輪及從動輪,所述主動輪與從動輪之間通過皮帶傳動連接,所述驅動電機的輸出端與主動輪傳動連接。
本實用新型的有益效果是:本實用新型太陽能電池片制備工藝中硅片印刷前預處理裝置,垂簾的設置可以將第一皮帶輸送裝置輸送過來的硅片進行預處理,清除硅片表面較大的異物,保證吸盤可以順利吸附第一皮帶輸送裝置上的硅片;采用驅動轉盤轉動,通過第一氣缸和第二氣缸下方的吸盤交替將第一皮帶輸送裝置上的硅片轉移至第二皮帶輸送裝置,在轉移過程中回轉氣缸將支桿旋轉90°使得硅片的印刷面處于豎直平面內,硅片與空氣的接觸面積大,有利于散熱,硅片表面的較大的異物也會從硅片的表面掉落,轉盤帶動硅片從第一皮帶輸送裝置轉動到第二皮帶輸送裝置時會經過風扇,通過風扇使得硅片進一步散熱和除塵,風扇可吹去硅片表面微小的粉塵或顆粒,保證硅片的潔凈和低溫,在不妨礙硅片輸送效率的同時,徹底去除硅片表面的雜質,降低網版被扎破的幾率,而且能大幅降低硅片表面的溫度,從而降低網版內漿料有機物的揮發(fā)速率,能保持較好的印刷性能。
附圖說明
下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
圖1是本實用新型太陽能電池片制備工藝中硅片印刷前預處理裝置的示意圖;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





