[實(shí)用新型]硅片自動(dòng)分離裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720273828.3 | 申請(qǐng)日： | 2017-03-20 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN206574686U | 公開(kāi)（公告）日： | 2017-10-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 孫鐵囤;湯平;姚偉忠 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 常州億晶光電科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/67 | 分類號(hào)： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務(wù)所(普通合伙)32258 | 代理人： | 鄭云 |
| 地址： | 213000 江蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 硅片 自動(dòng) 分離 裝置 | ||
1.一種硅片自動(dòng)分離裝置，其特征在于：包括機(jī)架(1)、控制單元(2)和激光測(cè)距傳感器(3)，所述機(jī)架(1)上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有環(huán)形支座(4)，所述機(jī)架(1)上設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)環(huán)形支座(4)轉(zhuǎn)動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)裝置(5)，所述環(huán)形支座(4)上沿圓周分布設(shè)有若干第一輸送帶(6)，所述第一輸送帶(6)上設(shè)有從動(dòng)摩擦輪(7)，所述機(jī)架(1)上設(shè)有至少兩組第一主動(dòng)摩擦輪(10)，所述第一主動(dòng)摩擦輪(10)之間設(shè)有第二主動(dòng)摩擦輪(11)，所述第一主動(dòng)摩擦輪(10)和第二主動(dòng)摩擦輪(11)轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反，所述第一主動(dòng)摩擦輪(10)和第二主動(dòng)摩擦輪(11)均與從動(dòng)摩擦輪(7)相對(duì)應(yīng)，所述機(jī)架(1)上設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)第一主動(dòng)摩擦輪(10)轉(zhuǎn)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置(9)，所述機(jī)架(1)上設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)第二主動(dòng)摩擦輪(11)轉(zhuǎn)動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)裝置(12)，所述機(jī)架(1)上位于所述第一輸送帶(6)之間設(shè)有第二輸送帶(8)，所述機(jī)架(1)上設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)第二輸送帶(8)轉(zhuǎn)動(dòng)的第四驅(qū)動(dòng)裝置(13)，當(dāng)?shù)谝恢鲃?dòng)摩擦輪(10)與從動(dòng)摩擦輪(7)接觸時(shí)，以實(shí)現(xiàn)硅片由一側(cè)的第一輸送帶(6)通過(guò)第二輸送帶(8)向另一側(cè)的第一輸送帶(6)方向輸送，同時(shí)第二主動(dòng)摩擦輪(11)與從動(dòng)摩擦輪(7)接觸，以實(shí)現(xiàn)第一輸送帶(6)將硅片輸出，所述激光測(cè)距傳感器(3)設(shè)置在所述第一輸送帶(6)的輸入端且位于其上方，所述激光測(cè)距傳感器(3)與所述控制單元(2)信號(hào)連接，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置(5)、第二驅(qū)動(dòng)裝置(9)、第三驅(qū)動(dòng)裝置(12)及第四驅(qū)動(dòng)裝置(13)均與所述控制單元(2)信號(hào)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片自動(dòng)分離裝置，其特征在于：所述第一輸送帶(6)由第一帶輪(14)、第二帶輪(15)、第三帶輪(16)、第四帶輪(17)和環(huán)形皮帶(18)組成，所述第一帶輪(14)、第二帶輪(15)、第三帶輪(16)和第四帶輪(17)均轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述環(huán)形支座(4)上，所述第一帶輪(14)、第二帶輪(15)、第三帶輪(16)及第四帶輪(17)相互平行設(shè)置，所述環(huán)形皮帶(18)依次與第一帶輪(14)、第二帶輪(15)、第三帶輪(16)、第四帶輪(17)的外周面接觸，所述第一帶輪(14)和第二帶輪(15)位于第三帶輪(16)和第四帶輪(17)上方、所述從動(dòng)摩擦輪(7)設(shè)置在所述第三帶輪(16)和第四帶輪(17)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片自動(dòng)分離裝置，其特征在于：所述第一驅(qū)動(dòng)裝置(5)為旋轉(zhuǎn)氣缸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片自動(dòng)分離裝置，其特征在于：所述第二驅(qū)動(dòng)裝置(9)、第三驅(qū)動(dòng)裝置(12)和第四驅(qū)動(dòng)裝置(13)均為電機(jī)。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
