[實(shí)用新型]一種藍(lán)寶石晶片拋光用快拆式樹脂銅盤

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720273467.2
• 申請(qǐng)日: 2017-03-21
• 公開（公告）號(hào): CN206998592U
• 公開（公告）日: 2018-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陸昌程;楊華;蔡金榮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇吉星新材料有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/11
• 分類號(hào): B24B37/11;B24D3/00;B24D13/14;B24D13/18
• 代理公司: 上海海頌知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31258
• 代理人: 陳麗君

1.一種藍(lán)寶石晶片拋光用快拆式樹脂銅盤，包括銅盤本體和底座，其特征為，所述銅盤本體底部與底座頂部相連，所述銅盤本體包括若干同心設(shè)置的樹脂銅環(huán)，相鄰樹脂銅環(huán)之間設(shè)有間隙，所述間隙頂部寬度d1為2±0.2mm。

2.如權(quán)利要求1所述的一種藍(lán)寶石晶片拋光用快拆式樹脂銅盤，其特征為，所述銅盤本體的厚度h為15~20mm。

3.如權(quán)利要求1所述的一種藍(lán)寶石晶片拋光用快拆式樹脂銅盤，其特征為，所述銅盤本體的內(nèi)邊緣半徑為r1，外邊緣半徑為r2，r1：r2=1：（3.4~3.6）。

4.如權(quán)利要求3所述的一種藍(lán)寶石晶片拋光用快拆式樹脂銅盤，其特征為，優(yōu)選地，r1為180±2mm，r2為625±2mm。

5.如權(quán)利要求1所述的一種藍(lán)寶石晶片拋光用快拆式樹脂銅盤，其特征為，所述樹脂銅環(huán)的數(shù)目為12個(gè)，由銅盤本體內(nèi)部向外部方向，樹脂銅環(huán)依次為第一銅環(huán)、第二銅環(huán)、第三銅環(huán)、第四銅環(huán)、第五銅環(huán)、第六銅環(huán)、第七銅環(huán)、第八銅環(huán)、第九銅環(huán)、第十銅環(huán)、第十一銅環(huán)、第十二銅環(huán)，所述第一銅環(huán)、第二銅環(huán)和第三銅環(huán)的寬度均為d2，所述第四銅環(huán)、第五銅環(huán)和第六銅環(huán)的寬度均為d3，所述第七銅環(huán)、第八銅環(huán)和第九銅環(huán)的寬度均為d4，所述第十銅環(huán)、第十一銅環(huán)和第十二銅環(huán)的寬度均為d5，d2< d3< d4< d5。

6.如權(quán)利要求5所述的一種藍(lán)寶石晶片拋光用快拆式樹脂銅盤，其特征為，優(yōu)選地，d2=24±0.2mm，d3=29±0.2mm，d4=34±0.2mm，d5=54±0.2mm。

7.如權(quán)利要求1所述的一種藍(lán)寶石晶片拋光用快拆式樹脂銅盤，其特征為，所述間隙底部呈圓弧形，所述間隙側(cè)壁包括傾斜壁、弧形壁和過渡壁，所述傾斜壁一側(cè)與樹脂銅環(huán)頂表面傾斜相連，另一側(cè)與弧形壁之間設(shè)有圓弧角，所述過渡壁兩側(cè)分別與弧形壁和間隙底部相連。

8.如權(quán)利要求7所述的一種藍(lán)寶石晶片拋光用快拆式樹脂銅盤，其特征為，所述傾斜壁與樹脂銅環(huán)頂表面之間的傾斜夾角a為113°。