[實用新型]一種用于平面靶材綁定的加熱平臺

有效

• 申請號: 201720267752.3
• 申請日: 2017-03-20
• 公開（公告）號: CN206616267U
• 公開（公告）日: 2017-11-07
• 發明（設計）人: 黃華凜;苗蕾;周建華;劉呈燕;王瀟漾;孫耀明;熊斌;張明;黃春明;徐華畢
• 申請（專利權）人: 廣東迪奧應用材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于靶材綁定技術領域，具體涉及一種用于平面靶材綁定的加熱平臺。

背景技術

目前對于平面靶材的綁定，采用的方式是一個簡單的加熱平臺，然后采用超聲棒涂銦，最后采用壓塊給靶材施加壓力，是靶材和背板黏結起來，整個流程在大氣的環境下操作。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種用于平面靶材綁定的加熱平臺.

為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：

本實用新型實施例提供一種用于平面靶材綁定的加熱平臺，包括通過鉸接的上氣室和下氣室，所述上氣室內設置有硅膠模及電磁放氣閥，所述下氣室內設置有綁定加熱臺，所述綁定加熱臺內均勻布設有若干個加熱棒，所述下氣室連接有電磁進氣閥及真空泵連接口，真空泵通過管道連接到真空泵連接口上。

上述方案中，所述所述綁定加熱臺的底部設置有超聲振子。

上述方案中，所述綁定加熱臺上還設置有熱電偶。

上述方案中，所述下氣室還設置有真空度顯示計。

上述方案中，所述上氣室的一側設置有放氣電磁閥。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果：

本實用新型通過真空貼合防止銦表面氧化影響貼合效果，有效的防止靶材的脫落；采用柔性硅膠板利用壓差加壓有利于保護靶材及不易產生貼合錯位；超聲震動便于銦涂布均勻，真空綁定可以避免氣泡的產生。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例提供一種用于平面靶材綁定的加熱平臺的結構示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

本實用新型實施例提供一種用于平面靶材綁定的加熱平臺，如圖1所示，包括通過鉸接的上氣室1和下氣室2，所述上氣室1內設置有硅膠模101及電磁放氣閥，所述下氣室2內設置有綁定加熱臺201，所述綁定加熱臺201內均勻布設有若干個加熱棒202，所述下氣室2連接有電磁進氣閥3及真空泵連接口4，真空泵通過管道連接到真空泵連接口4上。

所述所述綁定加熱臺201的底部設置有超聲振子203。

所述綁定加熱臺201上還設置有熱電偶204。

所述下氣室2還設置有真空度顯示計。

所述上氣室1和下氣室2通過鉸鏈連接，以開蓋的方式打開。

所述上氣室1的一側設置有放氣電磁閥102。

本實用新型靶材綁定的流程：

把要綁定的靶材、銦片及基板放入下氣室2的綁定加熱臺201上并且固定，然后蓋上氣室1，打開上氣室1的電磁放氣閥，然后關閉下氣室2的電磁放氣閥4，開啟真空泵對下氣室2進行抽氣，待真空度顯示計的真空度到達一定的數值時，關閉真空泵，然后開啟加熱棒202電源，開始對綁定加熱臺201進行加熱，當綁定加熱臺201溫度達到220度后，開啟超聲振子203的電源，使靶才及背板中銦片充分均勻的黏附，同時繼續開啟真空泵對下氣室2進行抽氣，幾分鐘后，關閉真空泵，關閉超聲振子203的電源，關閉加熱棒202的電源，待溫度下降到一定數值后，打開下氣室2的電磁放氣閥4，充入大氣，掀起上氣室1，取出黏結好的靶材，整個靶材綁定流程結束。

以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非用于限定本實用新型的保護范圍。