[實用新型]一種用于平面靶材綁定的加熱平臺有效
| 申請號： | 201720267752.3 | 申請日： | 2017-03-20 |
| 公開（公告）號： | CN206616267U | 公開（公告）日： | 2017-11-07 |
| 發明（設計）人： | 黃華凜;苗蕾;周建華;劉呈燕;王瀟漾;孫耀明;熊斌;張明;黃春明;徐華畢 | 申請（專利權）人： | 廣東迪奧應用材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518101 廣東省深圳市寶安*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 平面 綁定 加熱 平臺 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于平面靶材綁定的加熱平臺，其特征在于：包括通過鉸接的上氣室和下氣室，所述上氣室內設置有硅膠模及電磁放氣閥，所述下氣室內設置有綁定加熱臺，所述綁定加熱臺內均勻布設有若干個加熱棒，所述下氣室連接有電磁進氣閥及真空泵連接口，真空泵通過管道連接到真空泵連接口上。
2.根據權利要求1所述的一種用于平面靶材綁定的加熱平臺，其特征在于：所述綁定加熱臺的底部設置有超聲振子。
3.根據權利要求1或2所述的一種用于平面靶材綁定的加熱平臺，其特征在于：所述綁定加熱臺上還設置有熱電偶。
4.根據權利要求3所述的一種用于平面靶材綁定的加熱平臺，其特征在于：所述下氣室還設置有真空度顯示計。
5.根據權利要求4所述的一種用于平面靶材綁定的加熱平臺，其特征在于：所述上氣室的一側設置有放氣電磁閥。
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