[實(shí)用新型]用于UIS測試的多工位直流參數(shù)測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720254375.X
• 申請日: 2017-03-15
• 公開（公告）號: CN206710549U
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡江;林越來;孫海洋;鐘鋒浩
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州長川科技股份有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司33109
• 代理人: 尉偉敏,閻忠華

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及分立器件測試技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種成本低，生產(chǎn)效率高的用于UIS測試的多工位直流參數(shù)測試裝置。

背景技術(shù)

UIS測試(Unclamped Inductive Switching)，即非鉗位感性負(fù)載耐量測試，主要用于測試分立器件的雪崩耐壓特性，其中應(yīng)用最廣泛的是功率MOS管的UIS測試。

功率MOS管廣泛應(yīng)用于汽車消費(fèi)電子以及航空航天等領(lǐng)域，在功率MOS管的失效模式中，UIS失效占比為60％。因此，各大分立器件廠商在功率MOS管出廠前都會(huì)進(jìn)行UIS雪崩耐壓測試。

目前國際上的UIS測試設(shè)備主要包括日本的TESEC、JUNO，韓國的STATC以及美國的ITC，上述公司的UIS測試設(shè)備均為獨(dú)立的測試機(jī)，獨(dú)立進(jìn)行UIS雪崩耐壓測試，成本較高，只能單工位測試，不能進(jìn)行多工位測試，晶圓測試效率較低。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的發(fā)明目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的UIS測試設(shè)備成本較高，生產(chǎn)效率低的不足，提供了一種成本低，生產(chǎn)效率高的用于UIS測試的多工位直流參數(shù)測試裝置。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種用于UIS測試的多工位直流參數(shù)測試裝置，包括分立器件測試器、主機(jī)、FPGA控制器、繼電器控制器、電壓電流測量電路、柵極電壓源、漏極電壓源、IGBT控制器、開短路檢測器、UIS測試電路和外接電感；分立器件測試器分別與主機(jī)和FPGA控制器電連接，F(xiàn)PGA 控制器通過并聯(lián)的繼電器控制器、電壓電流測量電路、柵極電壓源、漏極電壓源、IGBT控制器和開短路檢測器與UIS測試電路電連接， UIS測試電路、待測元件和分立器件測試器依次電連接，UIS測試電路與外接電感電連接。

本實(shí)用新型的主機(jī)傳遞給分立器件測試器各種控制指令，分立器件測試器返回參數(shù)測試值給主機(jī)；UIS測試回路與直流參數(shù)測試回路共用一個(gè)繼電器，直流參數(shù)測試端接常閉接口，UIS參數(shù)測試常開接口，在測試UIS參數(shù)時(shí)閉合繼電器，在測試直流參數(shù)時(shí)斷開繼電器；串行測試時(shí)，繼電器動(dòng)作可以實(shí)現(xiàn)直流參數(shù)與UIS參數(shù)的串行測試。

在UIS測試時(shí)，先測試測試回路是否連通，再進(jìn)行待測器件的開短路檢測，若待測管芯正常，再進(jìn)行UIS耐量測試，測完之后進(jìn)行開短路檢測，若開短路正常，則說明器件的UIS耐量測試合格，否則認(rèn)為耐量測試不合格。

最多8工位串行測試，參數(shù)返回雪崩耐壓值；重復(fù)測試的一致性較好；可結(jié)合直流參數(shù)測試設(shè)備進(jìn)行UIS與直流參數(shù)的串測；可圖形顯示UIS測試過程。

作為優(yōu)選，UIS測試電路包括電容C1，絕緣柵雙極晶體管IGBT 和二極管Diode，電容C1一端和二極管Diode正極接地，電容C1另一端、絕緣柵雙極晶體管IGBT和外接電感依次電連接，二極管Diode 負(fù)極與絕緣柵雙極晶體管IGBT和外接電感的交接點(diǎn)電連接。

作為優(yōu)選，柵極電壓源包括光耦繼電器和兩路功率放大電路，兩路功率放大電路均與光耦繼電器電連接，光耦繼電器輸出電源VG給 UIS測試電路。

作為優(yōu)選，所述功率放大電路包括電阻R12、電阻R14、電阻R15、電阻R16、電阻R17，電容C58、電容C59、電容C60、電容C61、電容C62，二極管D19、二極管D31，放大器U13；電阻R12一端接地，電阻R12另一端分別與電阻R13一端、二極管D19負(fù)極、二極管D31 正極和放大器U13的反相輸入端電連接，電阻R15一端與FPGA控制器電連接。

作為優(yōu)選，電阻R15另一端分別與二極管D19正極、二極管D31 負(fù)極和放大器U13電連接，電容C58、電容C59一端接地，電容C58、電容C59另一端與電容C60一端電連接，電容C60另一端分別與電容 C62、電容C63一端電連接，電容C62、電容C63另一端接地，電阻 R13另一端分別與放大器U13輸出端和光耦繼電器電連接。

作為優(yōu)選，電壓電流測量電路包括電流測量電路和電壓測量電路，電壓測量電路包括一級功放電路和二級功放電路，一級功放電路、二級功放電路和主機(jī)依次電連接。

因此，本實(shí)用新型具有如下有益效果：

最多可8工位串行測試，參數(shù)自動(dòng)返回雪崩耐壓值；重復(fù)測試的一致性較好；可結(jié)合直流參數(shù)測試設(shè)備進(jìn)行UIS與直流參數(shù)的串測；可圖形顯示UIS測試過程。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的一種原理框圖；

圖2是本實(shí)用新型的UIS測試電路和待測元件的一種電路圖；

圖3是本實(shí)用新型的功率放大電路和光耦繼電器的一種電路圖；