[實用新型]一種半導體管芯基板

有效

• 申請號: 201720251386.2
• 申請日: 2017-03-15
• 公開（公告）號: CN206546817U
• 公開（公告）日: 2017-10-10
• 發明（設計）人: 陳昂;劉煒;張曉新;余慶;趙鋁虎;陸輝;葛亞英;周衛宏;張洪波
• 申請（專利權）人: 華越微電子有限公司
• 主分類號: H01L23/13
• 分類號: H01L23/13
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司31253
• 代理人: 馮子玲

技術領域：

本實用新型涉及半導體元器件制造領域，尤其涉及一種半導體管芯基板。

背景技術：

目前，半導體管芯在生產時都是根據生產管芯的大小，預先在硅片基板上刻好劃片槽，劃片槽將硅片分隔成多個大小相同的管芯制造基片。半導體器件生產中是通過光刻機把光刻版上的圖形轉移到硅片上，由于需要進行多次光刻，通常會在硅片基板上設置對位標記，在后續光刻時光刻版上的對位標記和上次硅片光刻圖形中的對位標記進行套準對位，以達到每層光刻圖形均與上層圖形套刻的目的。但是對位標記精度不高，在光刻時容易出錯，而且現有對位標記過大，導致劃片槽的寬度無法縮減，不能進一步提高硅片基板的利用率。

發明內容：

本實用新型的目的是為了解決現有技術中的問題，提供一種通過第一對位標記和第二對位標記來代替現有技術中的大型對位標記，同時取消了劃片槽內的緩沖區，使劃片槽的寬度能夠得到進一步縮減，而且第一對位標記和第二對位標記分別設置在芯管基片四周，能夠提高對位精度，減少出錯幾率的半導體管芯基板。

為了達到上述目的，本實用新型的技術方案是：

一種半導體管芯基板，包括基板本體，所述基板本體上等間距開設有縱橫交錯的劃片槽，所述基板本體上通過劃片槽分隔形成大小間距相同的矩形狀的管芯基片，所述芯管基片上下兩側的劃片槽內均開設有第一對位標記，所述芯管基片左右兩側的劃片槽內均開設有第二對位標記；所述第一對位標記包括以3行7列形式設置的第一對位因子，相鄰2列的所述第一對位因子之間的距離均相同；所述第二對位標記包括以3列8行形式設置的第二對位因子，相鄰2行所述第二對位因子之間的距離也均相同；所述第一對位標記中中間一列的第一對位因子上均設置有第一識別因子，所述第二對位標記中第一行第二對位因子和最后一行第二對位因子上均設置有第二識別因子。

所述第一對位因子和第二對位因子均為圓柱狀的對位因子，所述第一識別因子為三棱柱狀、三棱錐狀或者四棱柱狀的第一識別因子，所述第二識別因子也為三棱柱狀、三棱錐狀或者四棱柱狀的第二識別因子。

所述第一對位標記中第一行第一對位因子和第二行第一對位因子之間的距離小于第二行第一對位因子和第三行第一對位因子之間的距離。

所述第二對位標記中第一列第二對位因子和第二列第二對位因子之間的距離大于第二列第二對位因子和第三列第二對位因子之間的距離。

所述橫向的劃片槽和縱向的劃片槽的交錯處開設有十字形的切割定位孔。

本實用新型的有益效果是：本實用新型的一種半導體管芯基板，芯管基片上下兩側的劃片槽內均開設有第一對位標記，芯管基片左右兩側的劃片槽內均開設有第二對位標記，第一對位標記包括以3行7列形式設置的第一對位因子，第二對位標記包括以3列8行形式設置的第二對位因子，以小型對位因子組成的對位標記代替現有技術中的大型對位標記，能夠不但能夠提高對位精度，而且能夠縮減劃片槽的寬度，使同樣的硅片基板能夠制造更多的管芯，提高硅片基板的利用率；第一對位標記和第二對位標記不同，能夠進一步提高對位精度，減少出錯幾率。

附圖說明：

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為圖1中A處的放大圖；

圖3為圖1中B處的放大圖；

圖4為本實用新型第一對位標記處的放大剖面圖；

圖5為本實用新型第二對位標記處的放大剖面圖。

具體實施方式：

實施例1

如圖1-5所示的一種半導體管芯基板，包括基板本體1，所述基板本體1上等間距開設有縱橫交錯的劃片槽2，所述基板本體1上通過劃片槽2分隔形成大小間距相同的矩形狀的管芯基片3，所述芯管基片3上下兩側的劃片槽2內均開設有第一對位標記4，所述芯管基片3左右兩側的劃片槽2內均開設有第二對位標記5。與現有的大型對位標記相比，所述第一對位標記4包括以3行7列形式設置的第一對位因子41，相鄰2列的所述第一對位因子41之間的距離均相同。所述第二對位標記5包括以3列8行形式設置的第二對位因子51，相鄰2行所述第二對位因子51之間的距離也均相同。為了進一步提高對位精度，減少對位識別時的出錯幾率，所述第一對位標記4中第一行第一對位因子41和第二行第一對位因子41之間的距離小于第二行第一對位因子41和第三行第一對位因子41之間的距離。所述第二對位標記5中第一列第二對位因子51和第二列第二對位因子51之間的距離大于第二列第二對位因子51和第三列第二對位因子51之間的距離。