[實用新型]一種半導(dǎo)體管芯基板有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720251386.2 | 申請日： | 2017-03-15 |
| 公開（公告）號： | CN206546817U | 公開（公告）日： | 2017-10-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳昂;劉煒;張曉新;余慶;趙鋁虎;陸輝;葛亞英;周衛(wèi)宏;張洪波 | 申請（專利權(quán)）人： | 華越微電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/13 | 分類號： | H01L23/13 |
| 代理公司： | 上海精晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司31253 | 代理人： | 馮子玲 |
| 地址： | 312000 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 半導(dǎo)體 管芯 | ||
1.一種半導(dǎo)體管芯基板，其特征在于：包括基板本體（1），所述基板本體（1）上等間距開設(shè)有縱橫交錯的劃片槽（2），所述基板本體（1）上通過劃片槽（2）分隔形成大小間距相同的矩形狀的芯管基片（3），所述芯管基片（3）上下兩側(cè)的劃片槽（2）內(nèi)均開設(shè)有第一對位標記（4），所述芯管基片（3）左右兩側(cè)的劃片槽（2）內(nèi)均開設(shè)有第二對位標記（5）；所述第一對位標記（4）包括以3行7列形式設(shè)置的第一對位因子（41），相鄰2列的所述第一對位因子（41）之間的距離均相同；所述第二對位標記（5）包括以3列8行形式設(shè)置的第二對位因子（51），相鄰2行所述第二對位因子（51）之間的距離也均相同；所述第一對位標記（4）中中間一列的第一對位因子（41）上均設(shè)置有第一識別因子（42），所述第二對位標記（5）中第一行第二對位因子（51）和最后一行第二對位因子（51）上均設(shè)置有第二識別因子（52）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體管芯基板，其特征在于：所述第一對位因子（41）和第二對位因子（51）均為圓柱狀的對位因子，所述第一識別因子（42）為三棱柱狀、三棱錐狀或者四棱柱狀的第一識別因子，所述第二識別因子（52）也為三棱柱狀、三棱錐狀或者四棱柱狀的第二識別因子。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體管芯基板，其特征在于：所述第一對位標記（4）中第一行第一對位因子（41）和第二行第一對位因子（41）之間的距離小于第二行第一對位因子（41）和第三行第一對位因子（41）之間的距離。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體管芯基板，其特征在于：所述第二對位標記（5）中第一列第二對位因子（51）和第二列第二對位因子（51）之間的距離大于第二列第二對位因子（51）和第三列第二對位因子（51）之間的距離。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體管芯基板，其特征在于：所述橫向的劃片槽（2）和縱向的劃片槽（2）的交錯處開設(shè)有十字形的切割定位孔（21）。
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