[實用新型]空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置

有效

• 申請號: 201720248482.1
• 申請日: 2017-03-14
• 公開（公告）號: CN206683841U
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發明（設計）人: 李磊;代新;劉浩友;朱星高;喻佳俊;黃正旭;高偉;周振
• 申請（專利權）人: 廣州禾信儀器股份有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司44224
• 代理人: 萬志香

技術領域

本實用新型涉及透鏡性能檢測領域，特別是涉及一種空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置。

背景技術

目前國際上通常采用遮擋顆粒法來檢測空透鏡的性能，即在空透鏡出口下方利用一遮擋物遮擋顆粒傳輸路徑，此法是利用電流信號或者質譜信號來表示束寬大小。目前的檢測方法會出現電流信號、質譜信號受干擾程度大，檢測結果不準確的問題。現有的檢測方法還需要專門的高端實驗儀器，成本昂貴，操作維護較難，檢測效率較低。

實用新型內容

基于此，有必要提供一種檢測結果準確、成本低、操作維護簡單的空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置。

一種空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置，包括檢測器、截止閥、分子泵、檢測部件、發光部件、第一靶板以及第二靶板；

所述檢測器具有檢測腔以及連通于所述檢測腔的安裝口，所述安裝口用于供待檢測的空氣動力學透鏡安裝，所述空氣動力學透鏡的一端與所述檢測腔連通另一端用于與氣溶膠發生器連通；所述截止閥設在所述空氣動力學透鏡的進樣管上以用于打開或者關閉所述進樣管；

所述分子泵連接在所述檢測器的外部且連通于與所述檢測器，所述分子泵用于對所述檢測腔抽真空；

所述第一靶板以及所述第二靶板順序設在所述檢測腔內且所述第一靶板靠近于所述安裝口，所述第一靶板以及所述第二靶板上均具有真空脂層，所述真空脂層用于承接沉積顆粒束；

所述檢測部件以及所述發光部件均連接在所述檢測器上且均位于所述安裝口以及所述第一靶板之間，所述發光部件用于照射所述檢測腔內的顆粒，所述檢測部件用于檢測所述檢測腔的顆粒的散射光。

在其中一個實施例中，還包括兩個驅動部件，兩個所述驅動部件設在所述檢測器上且分別連接于所述第一靶板以及所述第二靶板，兩個所述驅動部件分別用于驅動第一靶板以及所述第二靶板移動。

在其中一個實施例中，還包括兩個連接桿，兩個所述連接桿均貫穿于所述檢測器的側壁；

所述連接桿的一端位于所述檢測器的外部以與相應的所述驅動部件連接，另一端均位于所述檢測腔內以分別與所述第一靶板以及所述第二靶板連接。

在其中一個實施例中，兩個所述連接桿位于所述檢測腔內的一端均具有卡槽，所述第一靶板以及所述第二靶板分別嵌設在相應的所述連接桿的卡槽內。

在其中一個實施例中，還包括分離錐；

所述分離錐設在所述檢測腔內且靠近于所述安裝口，所述分離錐將所述檢測腔分隔；所述分離錐具有分離通道，所述分離通道的尺寸由靠近所述安裝口的一端至相對的一端逐漸增大；當所述空氣動力學透鏡安裝在所述安裝口內后，所述分離通道與所述空氣動力學透鏡的出口對齊。

在其中一個實施例中，所述分離錐的數量為多個，多個所述分離錐在所述檢測腔內順序分布。

在其中一個實施例中，所述分子泵的數量為多個。

在其中一個實施例中，所述發光部件為測徑激光器。

在其中一個實施例中，所述檢測部件為光電倍增管。

上述的空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置，設置了檢測器、截止閥、分子泵、檢測部件、發光部件、第一靶板以及第二靶板。所述檢測器的安裝口用于供待檢測的空氣動力學透鏡安裝，空氣動力學透鏡的一端與所述檢測腔連通另一端用于與氣溶膠發生器連通，待檢測器內通過分子泵抽真空之后，即可通過氣溶膠發生器向空氣動力學透鏡內通入標準的氣溶膠小顆粒。顆粒經過干燥后進入到空氣動力學透鏡內聚集，通過發光部件照射小顆粒使其產生散射光，散射光被檢測部件接收檢測，以確定空氣動力學透鏡在安裝口處的安裝是否合格。當空氣動力學透鏡安裝合格之后，驅動部件驅動第一靶板以及所述第二靶板移動到預定位置，小顆粒射入至第一靶板上，第一靶板上具有真空脂層，真空脂層具有粘附性，可以用于承接沉積顆粒束，使顆粒在真空脂層上形成沉積斑點。預設時間后，驅動部件驅動第一靶板撤退，露出第二靶板，第二靶板上也具有真空脂層，真空脂層具有粘附性，可以用于承接沉積顆粒束，使顆粒在第二靶板上的真空脂層上形成沉積斑點。根據第一靶板、第二靶板之間的距離以及第一靶板、第二靶板上同一粒徑顆粒沉積斑點大小可以依據正弦公式計算該顆粒的發散角，其他顆粒也依此計算，建立顆粒束的發散模型，即可得出該空氣動力學透鏡的聚焦顆粒束寬及發散角。

附圖說明

圖1為一實施例空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置示意圖。

附圖標記說明