[實用新型]空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置

有效

• 申請號: 201720248482.1
• 申請日: 2017-03-14
• 公開（公告）號: CN206683841U
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發明（設計）人: 李磊;代新;劉浩友;朱星高;喻佳俊;黃正旭;高偉;周振
• 申請（專利權）人: 廣州禾信儀器股份有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司44224
• 代理人: 萬志香

1.一種空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置，其特征在于，包括檢測器、截止閥、分子泵、檢測部件、發光部件、第一靶板以及第二靶板；

所述檢測器具有檢測腔以及連通于所述檢測腔的安裝口，所述安裝口用于供待檢測的空氣動力學透鏡安裝，所述空氣動力學透鏡的一端與所述檢測腔連通另一端用于與氣溶膠發生器連通；所述截止閥設在所述空氣動力學透鏡的進樣管上以用于打開或者關閉所述進樣管；

所述分子泵連接在所述檢測器的外部且連通于與所述檢測器，所述分子泵用于對所述檢測腔抽真空；

所述第一靶板以及所述第二靶板順序設在所述檢測腔內且所述第一靶板靠近于所述安裝口，所述第一靶板以及所述第二靶板上均具有真空脂層，所述真空脂層用于承接沉積顆粒束；

所述檢測部件以及所述發光部件均連接在所述檢測器上且均位于所述安裝口以及所述第一靶板之間，所述發光部件用于照射所述檢測腔內的顆粒，所述檢測部件用于檢測所述檢測腔的顆粒的散射光。

2.根據權利要求1所述的空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置，其特征在于，還包括兩個驅動部件，兩個所述驅動部件設在所述檢測器上且分別連接于所述第一靶板以及所述第二靶板，兩個所述驅動部件分別用于驅動第一靶板以及所述第二靶板移動。

3.根據權利要求2所述的空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置，其特征在于，還包括兩個連接桿，兩個所述連接桿均貫穿于所述檢測器的側壁；

所述連接桿的一端位于所述檢測器的外部以與相應的所述驅動部件連接，另一端均位于所述檢測腔內以分別與所述第一靶板以及所述第二靶板連接。

4.根據權利要求3所述的空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置，其特征在于，兩個所述連接桿位于所述檢測腔內的一端均具有卡槽，所述第一靶板以及所述第二靶板分別嵌設在相應的所述連接桿的卡槽內。

5.根據權利要求1-4任意一項所述的空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置，其特征在于，還包括分離錐；

所述分離錐設在所述檢測腔內且靠近于所述安裝口，所述分離錐將所述檢測腔分隔；所述分離錐具有分離通道，所述分離通道的尺寸由靠近所述安裝口的一端至相對的一端逐漸增大；當所述空氣動力學透鏡安裝在所述安裝口內后，所述分離通道與所述空氣動力學透鏡的出口對齊。

6.根據權利要求5所述的空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置，其特征在于，所述分離錐的數量為多個，多個所述分離錐在所述檢測腔內順序分布。

7.根據權利要求1-4任意一項所述的空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置，其特征在于，所述分子泵的數量為多個。

8.根據權利要求1-4任意一項所述的空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置，其特征在于，所述發光部件為測徑激光器。

9.根據權利要求1-4任意一項所述的空氣動力學透鏡聚焦顆粒束寬及發散角檢測裝置，其特征在于，所述檢測部件為光電倍增管。