[實(shí)用新型]一種緩慢提升清洗架

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720243045.0
• 申請(qǐng)日: 2017-03-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206595234U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姜濤;李世山;徐曉強(qiáng);張海春
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州聚晶科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;B66F7/02;B66F7/28
• 代理公司: 蘇州市指南針專(zhuān)利代理事務(wù)所(特殊普通合伙)32268
• 代理人: 李先鋒

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種清洗架，尤其涉及一種緩慢提升清洗架。

背景技術(shù)

在電子元件生產(chǎn)過(guò)程中，硅片的清洗至關(guān)重要，清洗的目的是要消除吸附在硅片表面的各類(lèi)污染物，并制做能夠減少表面太陽(yáng)光反射的絨面結(jié)構(gòu)，且清洗的潔凈程度直接影響著電池片的成品率和可靠率。制絨是制造晶硅電池的第一道工藝，又稱(chēng)“表面織構(gòu)化”。有效的絨面結(jié)構(gòu)使得入射光在硅片表面多次反射和折射，增加了光的吸收，降低了反射率，有助于提高電池的性能。現(xiàn)有技術(shù)中通過(guò)在鹽酸槽中同時(shí)引入鹽酸管道與氫氟酸管道，在氫氟酸槽中同時(shí)引入氫氟酸管道與鹽酸管道，從而可方便地獲得鹽酸與氫氟酸的混合溶液，方便進(jìn)行上述單晶硅片制絨的清洗。但是在實(shí)際清洗的過(guò)程中硅片在鹽酸槽中液面擾動(dòng)較大，從而對(duì)置于其中的硅片的細(xì)微元器件有可能造成一定的形變等。

現(xiàn)有的技術(shù)手段是通過(guò)機(jī)械手的抓取將產(chǎn)品片盒緩慢的放入清洗槽中，這種自上而下的放置方式容易對(duì)液面進(jìn)行干擾，同時(shí)取出時(shí)也會(huì)對(duì)產(chǎn)品在溶液中的位置進(jìn)行干擾，造成液面擾動(dòng)很大，影響硅片的成品質(zhì)量。

如果通過(guò)慢轉(zhuǎn)電機(jī)可以實(shí)現(xiàn)緩慢提升的功效，但是電機(jī)配套的減速器占用空間很大，在清洗槽內(nèi)都是溶液的情況下，很難分布，對(duì)于有限空間內(nèi)如何利用電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)成為廠家在制造設(shè)備時(shí)的一大難題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于：提供一種緩慢提升清洗架，將產(chǎn)品片盒置于清洗架中放入和取出溶液，在慢轉(zhuǎn)電機(jī)的作用下保證提升過(guò)程的緩慢和平穩(wěn)，減少對(duì)液面的擾動(dòng)。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種緩慢提升清洗架，包括提升架、位于提升架下方的電機(jī)組件和產(chǎn)品片盒；所述的提升架位于所述的產(chǎn)品片盒的下方，承載所述的產(chǎn)品片盒；所述的電機(jī)組件位于所述的提升架的下方，通過(guò)履帶與所述的提升架連接。

所述的提升架包括移動(dòng)底板、升降滑軌、滑動(dòng)護(hù)板、提升滑輪、限位頂板、限位底板、縱向底板和橫向底板；所述的移動(dòng)底板位于所的提升架的底部，與所述的限位底板相抵觸；所述的升降滑軌豎直貫穿所述的移動(dòng)底板，與所述的移動(dòng)底板相配合，所述的移動(dòng)底板在所述的升降滑軌上自由滑動(dòng)；所述的滑動(dòng)護(hù)板位于所述的升降滑軌上，與所述的升降滑軌相配合，同時(shí)與所述的限位底板固定連接；所述的限位頂板位于所述的升降滑軌的頂端，與所述的升降滑軌固定連接；所述的提升滑輪位于所述的限位頂板的兩側(cè)，與所述的限位頂板固定連接，同時(shí)通過(guò)履帶分別與所述的移動(dòng)底板和電機(jī)組件連接；所述的限位底板位于所述的滑動(dòng)護(hù)板的下方，一端與所述的升降滑軌配合連接，下方與所述的移動(dòng)底板相抵觸，一端水平延伸，與所述的滑動(dòng)護(hù)板固定連接；所述的縱向底板垂直于所述的限位底板，與所述的縱向底板固定連接；所述的橫向底板平行與所述的限位底板，與所述的縱向底板固定連接。

進(jìn)一步的，所述的移動(dòng)底板上設(shè)置有滑動(dòng)轉(zhuǎn)軸；所述的滑動(dòng)轉(zhuǎn)軸有兩個(gè)，對(duì)稱(chēng)分布在所述的移動(dòng)底板上，通過(guò)履帶與所述的提升滑輪連接。

進(jìn)一步的，所述的升降滑軌、滑動(dòng)護(hù)板、限位底板和提升滑輪的數(shù)量保持一致，均為兩個(gè)，對(duì)稱(chēng)分布在所述的提升架的兩側(cè)。

進(jìn)一步的，所述的滑動(dòng)護(hù)板上設(shè)置有若干通孔。

進(jìn)一步的，所述的縱向底板的數(shù)量不少于四個(gè)，外形與所述的產(chǎn)品片盒的底部相配合。

進(jìn)一步的，所述的橫向底板的數(shù)量不少于四個(gè)，兩兩分布在兩個(gè)所述的縱向底板之間。

進(jìn)一步的，所述的電機(jī)組件包括電機(jī)底板、傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸、驅(qū)動(dòng)電機(jī)主軸、減速器、傳動(dòng)滑輪、轉(zhuǎn)軸架和轉(zhuǎn)軸底板；所述的電機(jī)底板位于所述的電機(jī)組件的最下方，與所述的轉(zhuǎn)軸底板固定連接；電機(jī)位于所述的電機(jī)底板上，通過(guò)所述的驅(qū)動(dòng)電機(jī)主軸與所述的減速器固定連接；所述的傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸貫穿所述的減速器，向所述的減速器的兩側(cè)延伸；所的轉(zhuǎn)軸架位于所述的傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸的一端，所述的傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸穿過(guò)所述的轉(zhuǎn)軸架；所述的轉(zhuǎn)軸底板位于所述的轉(zhuǎn)軸架的下方，與所述的轉(zhuǎn)軸架和電機(jī)底板固定連接；所述的傳動(dòng)滑輪位于所述的傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸的一端外側(cè)，同時(shí)位于所述的轉(zhuǎn)軸架的外側(cè)，與所述的傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸固定連接，通過(guò)履帶與所述的提升架連接。

進(jìn)一步的，所述的轉(zhuǎn)軸架和傳動(dòng)滑輪的數(shù)量保持一致，均為兩個(gè)，對(duì)稱(chēng)分布在所述的減速器的兩側(cè)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的一種緩慢提升清洗架可以通過(guò)電機(jī)慢轉(zhuǎn)緩慢平穩(wěn)地提升或下降整個(gè)提升架，將產(chǎn)品穩(wěn)定地放入溶液中，通過(guò)電機(jī)組件降低轉(zhuǎn)速，同時(shí)保證提升架的空間可以限制在清洗槽內(nèi)，提高升降的平穩(wěn)性，提高產(chǎn)品的質(zhì)量。

附圖說(shuō)明

圖1示出本實(shí)用新型的主視圖。

圖2示出本實(shí)用新型的左視圖。