[實(shí)用新型]掃描式電子顯微鏡樣品夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720194594.3
• 申請日: 2017-03-02
• 公開（公告）號: CN206516603U
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 施杰;劉國慶
• 申請（專利權(quán)）人: 宜特（上海）檢測技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/28
• 代理公司: 上海唯源專利代理有限公司31229
• 代理人: 曾耀先

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及電子顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及掃描式電子顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域，具體是指一種掃描式電子顯微鏡樣品夾具。

背景技術(shù)

掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope，SEM)是1965年發(fā)明的較現(xiàn)代的細(xì)胞生物學(xué)研究工具，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。

在采用掃描電子顯微鏡例如現(xiàn)有的Hitachi su8010機(jī)臺進(jìn)行切片(cross-section)觀測時(shí)，請參見圖1所示，用膠帶1例如碳膠帶2直接把樣品3粘合在SEM的樣品基座4上，樣品3的影像容易產(chǎn)生漂移。因?yàn)闃悠?是通過膠帶1粘貼固定在SEM的樣品基座4上的，因此很容易出現(xiàn)固定不牢固的現(xiàn)象，從而使樣品3的導(dǎo)電性不好，量取數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確；而且樣品3更換不方便，工作效率低。

因此，希望提供一種掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其能夠?qū)悠防喂坦潭ㄔ赟EM的樣品基座上，從而提高樣品導(dǎo)電性，達(dá)到改善圖片質(zhì)量的目的，而且樣品更換方便，提高了工作效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的一個目的在于提供一種掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其能夠?qū)悠防喂坦潭ㄔ赟EM的樣品基座上，從而提高樣品導(dǎo)電性，達(dá)到改善圖片質(zhì)量的目的，而且樣品更換方便，提高了工作效率，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。

本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)簡潔，制造簡單，使用方便，成本低，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。

為達(dá)到以上目的，本實(shí)用新型的掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其特點(diǎn)是，包括夾具主體和至少一個第一固定件，所述夾具主體中設(shè)置有用于容納掃描式電子顯微鏡的樣品的樣品凹槽，所述樣品凹槽的開口朝上設(shè)置，所述樣品凹槽的底部用于固定在所述掃描式電子顯微鏡的樣品基座上，所述第一固定件橫向穿設(shè)所述樣品凹槽的側(cè)壁并相對所述側(cè)壁橫向可移動及可固定設(shè)置用于將所述樣品抵靠固定在所述第一固定件和所述側(cè)壁之間或在多個所述第一固定件之間。

較佳地，所述第一固定件上橫向設(shè)置有多個第一固定位，所述側(cè)壁位于其中一個所述第一固定位上。

較佳地，所述第一固定件螺紋嚙合在所述側(cè)壁中。

更佳地，所述第一固定件是第一螺絲，所述側(cè)壁中橫向設(shè)置有第一螺孔，所述第一螺絲螺紋嚙合在所述第一螺孔中。

較佳地，所述的第一固定件的數(shù)目為2個，2個所述第一固定件相對設(shè)置用于將所述樣品抵靠固定在2個所述第一固定件之間。

較佳地，所述樣品凹槽為圓柱形凹槽。

較佳地，所述掃描式電子顯微鏡樣品夾具還包括第二固定件，所述第二固定件固定所述底部并用于固定所述樣品基座。

更佳地，所述第二固定件為第二螺絲，所述底部中豎向設(shè)置有第二螺孔，所述第二螺絲螺紋嚙合在所述第二螺孔中并用于螺紋嚙合在所述樣品基座中。

較佳地，所述掃描式電子顯微鏡樣品夾具還包括膠帶，所述膠帶位于所述樣品凹槽中并粘接在所述底部上用于粘接所述樣品。

較佳地，所述掃描式電子顯微鏡樣品夾具為銅夾具。

本實(shí)用新型的有益效果主要在于：

1、本實(shí)用新型的掃描式電子顯微鏡樣品夾具包括夾具主體和至少一個第一固定件，夾具主體中設(shè)置有用于容納掃描式電子顯微鏡的樣品的樣品凹槽，樣品凹槽的開口朝上設(shè)置，樣品凹槽的底部用于固定在掃描式電子顯微鏡的樣品基座上，第一固定件橫向穿設(shè)樣品凹槽的側(cè)壁并相對側(cè)壁橫向可移動及可固定設(shè)置用于將樣品抵靠固定在第一固定件和側(cè)壁之間或在多個第一固定件之間，因此，其能夠?qū)悠防喂坦潭ㄔ赟EM的樣品基座上，從而提高樣品導(dǎo)電性，達(dá)到改善圖片質(zhì)量的目的，而且樣品更換方便，提高了工作效率，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。

2、本實(shí)用新型的掃描式電子顯微鏡樣品夾具包括夾具主體和至少一個第一固定件，夾具主體中設(shè)置有用于容納掃描式電子顯微鏡的樣品的樣品凹槽，樣品凹槽的開口朝上設(shè)置，樣品凹槽的底部用于固定在掃描式電子顯微鏡的樣品基座上，第一固定件橫向穿設(shè)樣品凹槽的側(cè)壁并相對側(cè)壁橫向可移動及可固定設(shè)置用于將樣品抵靠固定在第一固定件和側(cè)壁之間或在多個第一固定件之間，因此，設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)簡潔，制造簡單，使用方便，成本低，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。

本實(shí)用新型的這些和其它目的、特點(diǎn)和優(yōu)勢，通過下述的詳細(xì)說明，附圖和權(quán)利要求得以充分體現(xiàn)，并可通過所附權(quán)利要求中特地指出的手段、裝置和它們的組合得以實(shí)現(xiàn)。

附圖說明