[實(shí)用新型]掃描式電子顯微鏡樣品夾具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720194594.3 | 申請日： | 2017-03-02 |
| 公開（公告）號： | CN206516603U | 公開（公告）日： | 2017-09-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 施杰;劉國慶 | 申請（專利權(quán)）人： | 宜特（上海）檢測技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/20 | 分類號： | H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海唯源專利代理有限公司31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201103 上海市閔*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 掃描 電子顯微鏡 樣品 夾具 | ||
1.一種掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其特征在于，包括夾具主體和至少一個第一固定件，所述夾具主體中設(shè)置有用于容納掃描式電子顯微鏡的樣品的樣品凹槽，所述樣品凹槽的開口朝上設(shè)置，所述樣品凹槽的底部用于固定在所述掃描式電子顯微鏡的樣品基座上，所述第一固定件橫向穿設(shè)所述樣品凹槽的側(cè)壁并相對所述側(cè)壁橫向可移動及可固定設(shè)置用于將所述樣品抵靠固定在所述第一固定件和所述側(cè)壁之間或在多個所述第一固定件之間。
2.如權(quán)利要求1所述的掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其特征在于，所述第一固定件上橫向設(shè)置有多個第一固定位，所述側(cè)壁位于其中一個所述第一固定位上。
3.如權(quán)利要求1所述的掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其特征在于，所述第一固定件螺紋嚙合在所述側(cè)壁中。
4.如權(quán)利要求3所述的掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其特征在于，所述第一固定件是第一螺絲，所述側(cè)壁中橫向設(shè)置有第一螺孔，所述第一螺絲螺紋嚙合在所述第一螺孔中。
5.如權(quán)利要求1所述的掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其特征在于，所述的第一固定件的數(shù)目為2個，2個所述第一固定件相對設(shè)置用于將所述樣品抵靠固定在2個所述第一固定件之間。
6.如權(quán)利要求1所述的掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其特征在于，所述樣品凹槽為圓柱形凹槽。
7.如權(quán)利要求1所述的掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其特征在于，所述掃描式電子顯微鏡樣品夾具還包括第二固定件，所述第二固定件固定所述底部并用于固定所述樣品基座。
8.如權(quán)利要求7所述的掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其特征在于，所述第二固定件為第二螺絲，所述底部中豎向設(shè)置有第二螺孔，所述第二螺絲螺紋嚙合在所述第二螺孔中并用于螺紋嚙合在所述樣品基座中。
9.如權(quán)利要求1所述的掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其特征在于，所述掃描式電子顯微鏡樣品夾具還包括膠帶，所述膠帶位于所述樣品凹槽中并粘接在所述底部上用于粘接所述樣品。
10.如權(quán)利要求1所述的掃描式電子顯微鏡樣品夾具，其特征在于，所述掃描式電子顯微鏡樣品夾具為銅夾具。
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