[實(shí)用新型]一種單晶硅棒線開方機(jī)工作臺(tái)夾緊裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720190494.3
• 申請(qǐng)日: 2017-03-01
• 公開（公告）號(hào): CN206579004U
• 公開（公告）日: 2017-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 傅林堅(jiān);沈文杰;周建燦;謝龍輝;趙通通;何守龍;王凱;胡志偉;邱敏秀
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
• 主分類號(hào): B28D7/04
• 分類號(hào): B28D7/04
• 代理公司: 杭州中成專利事務(wù)所有限公司33212
• 代理人: 周世駿

1.一種單晶硅棒線開方機(jī)工作臺(tái)夾緊裝置，用于安裝晶棒，其特征在于，所述單晶硅棒線開方機(jī)工作臺(tái)夾緊裝置包括工作臺(tái)頭座、工作臺(tái)尾座、氣缸安裝座、氣缸、支架、導(dǎo)向襯套；

所述支架為“7”字型支架，支架的下端安裝在單晶硅棒線開方機(jī)的開方機(jī)底座上，支架上端橫桿的中部打有通孔；所述氣缸安裝座為筒形安裝座，氣缸安裝座安裝在支架上端橫桿的中部通孔中，氣缸安裝在氣缸安裝座的上端，導(dǎo)向襯套安裝在氣缸安裝座的下端；

所述工作臺(tái)尾座包括尾座浮動(dòng)接頭、尾座連接軸；所述尾座連接軸安裝在導(dǎo)向襯套的孔內(nèi)，用于增強(qiáng)工作臺(tái)尾座剛度；尾座連接軸的上端能通過導(dǎo)向襯套和氣缸的活塞桿連接，尾座連接軸的下端與尾座浮動(dòng)接頭連接，并保證工作臺(tái)尾座和氣缸同心連接；尾座浮動(dòng)接頭能在氣缸的驅(qū)動(dòng)下壓緊晶棒上端面，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶棒的固定；

所述工作臺(tái)頭座通過法蘭安裝在開方機(jī)底座上，工作臺(tái)頭座包括電機(jī)、聯(lián)軸器、頭座連接軸、萬向夾頭、晶托；所述頭座連接軸的下端通過聯(lián)軸器與電機(jī)連接，頭座連接軸的上端通過萬向夾頭連接晶托，使頭座連接軸能在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)晶托旋轉(zhuǎn)；

所述工作臺(tái)頭座、工作臺(tái)尾座與晶棒沿晶棒長度方向同心安裝。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒線開方機(jī)工作臺(tái)夾緊裝置，其特征在于，所述晶托上開有四條讓線槽，并設(shè)有邊皮支撐的結(jié)構(gòu)，用于解決崩邊和邊皮的問題。