[實(shí)用新型]一種靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720183071.9
• 申請日: 2017-02-28
• 公開（公告）號: CN206558482U
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張一博;劉強(qiáng);姚建華;盧詩毅;喻里程;劉浩;劉震;張霞峰;張根明
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 廣東廣信君達(dá)律師事務(wù)所44329
• 代理人: 楊曉松

1.一種靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)，其特征在于，包括：

可對微薄片進(jìn)行篩選的篩選平臺；

可對所述篩選平臺上的微薄片進(jìn)行靜電吸附并轉(zhuǎn)移的靜電吸附夾具；

可對被靜電吸附的微薄片去除靜電的去靜電平臺；

所述篩選平臺包括可承載微薄片的負(fù)極板載物臺、位于所述負(fù)極板載物臺下方并帶有正電荷的篩選正極板以及位于所述篩選正極板下方的電池層；所述靜電吸附夾具設(shè)有帶有正電荷的夾具正極板，所述去靜電平臺包括靜電載物臺以及位于下方的電容極板。

2.如權(quán)利要求1所述的靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)，其特征在于，所述篩選正極板為若干個(gè)相互分離且分別與電池層電連接的正極板。

3.如權(quán)利要求2所述的靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)，其特征在于，若干個(gè)所述正極板可呈陣列狀進(jìn)行排布。

4.如權(quán)利要求3所述的靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)，其特征在于，所述正極板與所述電池層之間設(shè)置有用于防止正極板釋放正電荷的絕緣層。

5.如權(quán)利要求1所述的靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)，其特征在于，所述夾具正極板朝向所述負(fù)極板載物臺的端面邊緣設(shè)有圍沿，所述圍沿與所述夾具正極板形成一可容納微薄片并呈開放式的腔體。

6.如權(quán)利要求5所述的靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)，其特征在于，所述腔體的開放口設(shè)有可關(guān)閉或打開所述腔體的保護(hù)門。

7.如權(quán)利要求6所述的靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)，其特征在于，所述保護(hù)門樞轉(zhuǎn)設(shè)于所述開放口邊沿并可繞樞轉(zhuǎn)軸進(jìn)行擺動(dòng)。

8.如權(quán)利要求6所述的靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)，其特征在于，所述保護(hù)門可沿滑槽滑動(dòng)將所述開放口打開或關(guān)閉。