[實(shí)用新型]一種分選機(jī)擴(kuò)張器及分選機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720177546.3
• 申請日: 2017-02-27
• 公開（公告）號: CN206471316U
• 公開（公告）日: 2017-09-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張虎;丁勇;顏云海;周立;林桂綺;邱智中;張家宏
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽三安光電有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種分選機(jī)擴(kuò)張器及包含該擴(kuò)張器的分選機(jī)。

背景技術(shù)

在LED芯粒制造過程中會經(jīng)過后道分選過程，主要是通過機(jī)器將同種等級芯粒自動拾取至同一bin上，而運(yùn)用到的主要機(jī)臺為分選機(jī)。現(xiàn)有技術(shù)中分選前，晶圓粘附于藍(lán)膜上并夾持于擴(kuò)張環(huán)內(nèi)，擴(kuò)張環(huán)置于鐵環(huán)內(nèi)，分選時需通過機(jī)械夾爪將鐵環(huán)移載至晶圓工作臺的擴(kuò)張器上，通過擴(kuò)張器上下固定片源，從而利于后續(xù)的分選操作。但目前的晶圓工作臺存在以下兩個缺點(diǎn)：

一、在夾爪移動鐵環(huán)過程中經(jīng)常由于無法夾取鐵環(huán)（重量原因），鐵環(huán)中途脫落或擴(kuò)張器關(guān)閉時鐵環(huán)松動，導(dǎo)致報警頻繁，影響作業(yè)；

二、由于擴(kuò)張器頻繁上下運(yùn)動，經(jīng)常損壞備件，如擴(kuò)張器齒輪、鐵環(huán)、夾料器感應(yīng)件、夾爪、擴(kuò)張器彈簧片等。

發(fā)明內(nèi)容

為解決以上問題，本實(shí)用新型一方面提供一種分選機(jī)擴(kuò)張器，用于固定待分選件，其特征在于，至少包括中間具有孔洞的底座、吸附所述待分選件并環(huán)繞孔洞置于底座上的真空環(huán)、調(diào)整所述待分選件位置并環(huán)繞所述真空環(huán)置于底座上的數(shù)個導(dǎo)正桿組件。

優(yōu)選的，所述導(dǎo)正桿組件包括滑軌、置于滑軌上的導(dǎo)正桿、以及驅(qū)動導(dǎo)正桿沿滑軌移動的第一氣缸。

優(yōu)選的，所述導(dǎo)正桿組件的數(shù)目大于等于4。

優(yōu)選的，所述分選機(jī)擴(kuò)張器還包括與真空環(huán)依次連接、使真空環(huán)產(chǎn)生真空環(huán)境的真空管、真空泵、以及置于真空管上并控制真空泵開關(guān)的電磁閥。

優(yōu)選的，所述真空環(huán)為中空結(jié)構(gòu)，上端具有環(huán)形的開口，將所述真空環(huán)內(nèi)的空氣抽去后，產(chǎn)生真空環(huán)境。

優(yōu)選的，所述待分選件為粘附于藍(lán)膜上并夾持于擴(kuò)張環(huán)內(nèi)的晶圓。

優(yōu)選的，所述待分選件的藍(lán)膜吸附于真空環(huán)上，使所述晶圓固定于所述擴(kuò)張器上。

優(yōu)選的，所述真空環(huán)的內(nèi)徑大于所述晶圓的直徑、小于所述擴(kuò)張環(huán)的內(nèi)徑。

另一方面，本實(shí)用新型提供一種分選機(jī)，其特征在于，包括上述的任意一項(xiàng)分選機(jī)擴(kuò)張器。

優(yōu)選的，所述分選機(jī)還包括一傳送手臂，所述傳送手臂上設(shè)置有均勻排列的復(fù)數(shù)個固定卡扣、復(fù)數(shù)個可移動卡扣、弧形卡槽、第二氣缸、以及連接第二氣缸和可移動卡扣的連接桿，所述第二氣缸通過連接桿驅(qū)動可移動卡扣在所述弧形卡槽內(nèi)移動。

本實(shí)用新型利用真空環(huán)內(nèi)的真空吸附并固定待分選的晶圓，同時設(shè)計一種新型的傳送手臂，可以有效省去傳統(tǒng)的分選機(jī)上的鐵環(huán)、夾爪、感應(yīng)器、彈簧片等消耗備件，提高分選機(jī)的穩(wěn)定性和作業(yè)效率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型之?dāng)U張器的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1擴(kuò)張器及待分選件截面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型之實(shí)施例之待分選件俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本實(shí)用新型之?dāng)U張器和傳送手臂俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為本實(shí)用新型之?dāng)U張器和傳送手臂側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)注：

10.擴(kuò)張器；11.底座；111.底座孔洞；12.真空環(huán)；121.真空管；122.真空泵；123.電磁閥；13.導(dǎo)正桿組件；131.滑軌；132.導(dǎo)正桿；133.第一氣缸；20.待分選件；21.擴(kuò)張環(huán)；22.藍(lán)膜；23.晶圓；30.傳送手臂；31.固定卡扣；32.可移動卡扣；33弧形卡槽；34.連桿；35.第二氣缸。

具體實(shí)施方式

在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。