[實(shí)用新型]一種分選機(jī)擴(kuò)張器及分選機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720177546.3
• 申請(qǐng)日: 2017-02-27
• 公開（公告）號(hào): CN206471316U
• 公開（公告）日: 2017-09-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張虎;丁勇;顏云海;周立;林桂綺;邱智中;張家宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽三安光電有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種分選機(jī)擴(kuò)張器，用于固定待分選件，其特征在于，至少包括中間具有孔洞的底座、吸附所述待分選件并環(huán)繞孔洞置于底座上的真空環(huán)、調(diào)整所述待分選件位置并環(huán)繞所述真空環(huán)置于底座上的數(shù)個(gè)導(dǎo)正桿組件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分選機(jī)擴(kuò)張器，其特征在于：所述導(dǎo)正桿組件包括滑軌、置于滑軌上的導(dǎo)正桿、以及驅(qū)動(dòng)導(dǎo)正桿沿滑軌移動(dòng)的第一氣缸。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種分選機(jī)擴(kuò)張器，其特征在于：所述導(dǎo)正桿組件的數(shù)目大于等于4。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分選機(jī)擴(kuò)張器，其特征在于：所述分選機(jī)擴(kuò)張器還包括與真空環(huán)依次連接、使真空環(huán)產(chǎn)生真空環(huán)境的真空管、真空泵、以及置于真空管上并控制真空泵開關(guān)的電磁閥。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分選機(jī)擴(kuò)張器，其特征在于：所述真空環(huán)為中空結(jié)構(gòu)，上端具有環(huán)形的開口，將所述真空環(huán)內(nèi)的空氣抽去后，產(chǎn)生真空環(huán)境。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分選機(jī)擴(kuò)張器，其特征在于：所述待分選件為粘附于藍(lán)膜上并夾持于擴(kuò)張環(huán)內(nèi)的晶圓。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種分選機(jī)擴(kuò)張器，其特征在于：所述待分選件的藍(lán)膜吸附于真空環(huán)上，使所述晶圓固定于所述擴(kuò)張器上。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種分選機(jī)擴(kuò)張器，其特征在于：所述真空環(huán)的內(nèi)徑大于所述晶圓的直徑、小于所述擴(kuò)張環(huán)的內(nèi)徑。

9.一種分選機(jī)，其特征在于，包括權(quán)利要求1~8所述的任意一項(xiàng)分選機(jī)擴(kuò)張器。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種分選機(jī)，其特征在于：所述分選機(jī)還包括一傳送手臂，所述傳送手臂上設(shè)置有均勻排列的復(fù)數(shù)個(gè)固定卡扣、復(fù)數(shù)個(gè)可移動(dòng)卡扣、弧形卡槽、第二氣缸、以及連接第二氣缸和可移動(dòng)卡扣的連接桿，所述第二氣缸通過連接桿驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)卡扣在所述弧形卡槽內(nèi)移動(dòng)。