[實用新型]形成延展性多層變量合金保護膜的高真空直流磁控濺射裝置

有效

• 申請號: 201720173197.8
• 申請日: 2017-02-25
• 公開（公告）號: CN206428322U
• 公開（公告）日: 2017-08-22
• 發明（設計）人: 王再德;魏慶旺;劉磊;張勝超;馬煥明;王英鋒
• 申請（專利權）人: 中信戴卡股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/50
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及多層合金保護膜表面處理設備領域。

背景技術

目前，物理汽相淀積法（PVD）廣泛運用到汽車零部件表面處理工藝中，在汽車車標、汽車輪轂蓋帽、汽車輪轂等零部件表面處理上發揮重要作用。物理汽相淀積法特點是表面達到金屬白亮鏡面光澤裝飾效果，與傳統噴涂底粉+色漆+透明漆相比，涂層性能相當，外觀可以達到電鍍效果。

發明內容

因此，本實用新型目的是提供一種改進的高真空直流磁控濺射裝置。

形成延展性多層變量合金保護膜的高真空直流磁控濺射裝置，包括自動抽氣系統，真空鍍膜室體，磁控靶材A、磁控靶材B、車輪公轉裝置、車輪自轉裝置、車輪固定卡扣、進氣裝置。

自動抽氣系統、磁控靶材A、磁控靶材B設置于真空鍍膜室體上。 真空抽氣系統包括機械泵、高真空油擴散泵、羅茨泵、旋片泵、維持泵；泵開啟后，真空度降低，不同真空度自動開啟相關泵。

真空鍍膜室體設置為立式，設置兩個平面磁控靶，并設置透明觀察口，便于觀察里面鍍膜情況。真空鍍膜室體內工作時先抽取真空，再充入工作氣體。

磁控靶材A、磁控靶材B包括靶座，強磁鐵，平面金屬靶。

車輪公轉裝置使車輪在真空室內進行勻速公轉，公轉周期可調；車輪自轉裝置使車輪安裝到鍍膜機，車輪可以旋轉，保證整個車輪鍍膜厚度一致。車輪固定卡扣設置在車輪與真空鍍膜室體之間；進氣裝置設置于真空鍍膜室體。

附圖說明

圖1為本實用新型形成延展性多層變量合金保護膜的高真空直流磁控濺射裝置示意圖。

圖中：1-自動抽氣系統，2-真空鍍膜室體，3-真空鍍膜室體內，4-磁控靶材A，5-磁控靶材B，6-車輪公轉裝置，7-車輪自轉裝置，8-車輪，9-車輪固定卡扣、10-進氣裝置。

具體實施方式

形成延展性多層變量合金保護膜的高真空直流磁控濺射裝置，包括自動抽氣系統1，真空鍍膜室體2，磁控靶材A4、磁控靶材B5、車輪公轉裝置6、車輪自轉裝置7、車輪固定卡扣9、進氣裝置10。

自動抽氣系統1、磁控靶材A4、磁控靶材B5設置于真空鍍膜室體2上。 真空抽氣系統1包括機械泵、高真空油擴散泵、羅茨泵、旋片泵、維持泵；泵開啟后，真空度降低，不同真空度自動開啟相關泵。

真空鍍膜室體2設置為立式，設置兩個平面磁控靶，并設置透明觀察口。真空鍍膜室體內3工作時先抽取真空，再充入工作氣體。

磁控靶材A4、磁控靶材B5包括靶座，強磁鐵，平面金屬靶。

車輪公轉裝置6使車輪在真空室內進行勻速公轉，公轉周期可調；車輪自轉裝置7使車輪安裝到鍍膜機，車輪可以旋轉，保證整個車輪鍍膜厚度一致。車輪固定卡扣9設置在車輪8與真空鍍膜室體2之間；進氣裝置10設置于真空鍍膜室體2。