[實用新型]形成延展性多層變量合金保護膜的高真空直流磁控濺射裝置有效
| 申請號： | 201720173197.8 | 申請日： | 2017-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN206428322U | 公開（公告）日： | 2017-08-22 |
| 發明（設計）人： | 王再德;魏慶旺;劉磊;張勝超;馬煥明;王英鋒 | 申請（專利權）人： | 中信戴卡股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 066318 河北*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 形成 延展性 多層 變量 合金 保護膜 真空 直流 磁控濺射 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.形成延展性多層變量合金保護膜的高真空直流磁控濺射裝置，包括自動抽氣系統（1），真空鍍膜室體（2），磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）、車輪公轉裝置（6）、車輪自轉裝置（7）、車輪固定卡扣（9）、進氣裝置（10），其特征在于：
自動抽氣系統（1）、磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）設置于真空鍍膜室體（2）上； 自動抽氣系統（1）包括機械泵、高真空油擴散泵、羅茨泵、旋片泵、維持泵；
真空鍍膜室體（2）設置為立式，設置兩個平面磁控靶，并設置透明觀察口，磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）包括靶座、強磁鐵、平面金屬靶；
車輪公轉裝置（6）使車輪勻速公轉，車輪自轉裝置（7）使車輪安裝到鍍膜機，車輪可以旋轉，車輪固定卡扣（9）設置在車輪（8）與真空鍍膜室體（2）之間；進氣裝置（10）設置于真空鍍膜室體（2）。
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