[實用新型]一種用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置

有效

• 申請號: 201720167840.6
• 申請日: 2017-02-23
• 公開（公告）號: CN206706199U
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發明（設計）人: 關江敏;趙曉飛;王長梗
• 申請（專利權）人: 北京創世威納科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/35
• 代理公司: 北京尚德技研知識產權代理事務所(普通合伙)11378
• 代理人: 陳曉平

技術領域

本實用新型涉及材料表面鍍膜技術領域，特別涉及一種用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置。

背景技術

對于實心圓柱形工件，即通常所說的棒狀工件，當需要對其外表面通過矩形磁控靶進行鍍膜時，常規的方法是在環形區域設計自轉公轉機構，以及工件夾緊機構。但現有的這些夾緊機構有一個缺陷，就是為了防止工件在自轉+公轉時從夾持機構中脫落，往往在夾持機構上下端設置有“凹”型工裝，將工件的端頭套在“凹”型工裝內，即通過“凹”型工裝夾持住工件的端頭來避免工件產生橫向位移。這樣做雖然解決了工件脫落問題，但濺射時“凹”型工裝會對工件兩個端頭的側面構成遮擋，從而在工件兩個端頭側面形成濺射陰影，也就是濺射不上去，對工件留下缺陷，實際生產中，為此往往要在濺射鍍膜后，對工件進行二次加工，例如將兩個端頭未濺射的部分磨掉，或切掉，這樣就會增加制造的工藝步驟，并且無論是磨掉，還是切掉，都需要對工件進行側面的夾持，否則無法受力，這樣又會對已經濺射上的薄膜造成損傷。

此外，用于磁控濺射鍍膜的真空腔室和實心圓柱形工件的尺寸通常是固定的，而磁控靶是可根據真空腔室的尺寸做得很長的，但現有生產方法中，在真空腔室中只能夾持一層實心圓柱形工件，因此也就大大限制了實心圓柱形工件的裝載量，不能充分利用真空腔室空間，也就使得真空腔室利用率低，使得設備產能不能最大化。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置，可在真空腔室中對實心圓柱形工件進行多層裝載，從而減少或避免前面所提到的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型提出了一種用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置，其包括三個相同的由至少三個周向均布的第一定位柱固定連接的定齒輪，每個所述定齒輪旋轉連接有同心的轉輪，三個所述轉輪通過至少三個周向均布的第二定位柱固定連接，每兩個相鄰的所述轉輪之間設置有多對可伸縮的第三定位柱，每個所述第三定位柱通過相同的第一動齒輪與對應的所述定齒輪嚙合連接。

優選地，所述轉輪在側壁設置有齒形。

優選地，所述第三定位柱包括一個導向筒，導向筒內順序安裝有彈簧和可移動的定位桿。

優選地，所述第三定位柱的用于夾持實心圓柱形工件的端面是平面。

優選地，所述第三定位柱的用于夾持實心圓柱形工件的端面是截面為弧度的球面。

優選地，所述第三定位柱的用于夾持實心圓柱形工件的端面的截面的弧度為0.1-0.4。

優選地，所述第三定位柱的用于夾持實心圓柱形工件的端面的最大直徑是所述實心圓柱形工件的端面的直徑的1.1-1.3倍。

本實用新型所提供的一種用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置，可有效實現實心圓柱形工件的批量鍍膜，且能有效保障實心圓柱形工件兩個端面附近的側壁的鍍膜質量。

附圖說明

以下附圖僅旨在于對本實用新型做示意性說明和解釋，并不限定本實用新型的范圍。其中，

圖1為根據本實用新型的一個具體實施例的一種用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置的立體結構原理示意圖。

具體實施方式

為了對本實用新型的技術特征、目的和效果有更加清楚的理解，現對照附圖說明本實用新型的具體實施方式。其中，相同的部件采用相同的標號。

圖1為根據本實用新型的一個具體實施例的一種用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置的立體結構原理示意圖；參見圖1所示，本實用新型提供了一種用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置，其包括三個相同的由至少三個周向均布的第一定位柱11固定連接的定齒輪12，每個所述定齒輪12旋轉連接有同心的轉輪22，三個所述轉輪22通過至少三個周向均布的第二定位柱21固定連接，每兩個相鄰的所述轉輪22之間設置有多對可伸縮的第三定位柱31，每個所述第三定位柱31通過相同的第一動齒輪32與對應的所述定齒輪12嚙合連接。