[實用新型]一種用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置

有效

• 申請號: 201720167840.6
• 申請日: 2017-02-23
• 公開（公告）號: CN206706199U
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發明（設計）人: 關江敏;趙曉飛;王長梗
• 申請（專利權）人: 北京創世威納科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/35
• 代理公司: 北京尚德技研知識產權代理事務所(普通合伙)11378
• 代理人: 陳曉平

1.一種用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置，其特征在于，其包括三個相同的由至少三個周向均布的第一定位柱固定連接的定齒輪，每個所述定齒輪旋轉連接有同心的轉輪，三個所述轉輪通過至少三個周向均布的第二定位柱固定連接，每兩個相鄰的所述轉輪之間設置有多對可伸縮的第三定位柱，每個所述第三定位柱通過相同的第一動齒輪與對應的所述定齒輪嚙合連接，所述轉輪在側壁設置有齒形。

2.根據權利要求1所述的用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置，其特征在于，所述第三定位柱包括一個導向筒，導向筒內順序安裝有彈簧和可移動的定位桿。

3.根據權利要求1所述的用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置，其特征在于，所述第三定位柱的用于夾持實心圓柱形工件的端面是平面。

4.根據權利要求1所述的用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置，其特征在于，所述第三定位柱的用于夾持實心圓柱形工件的端面是截面為弧度的球面。

5.根據權利要求4所述的用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置，其特征在于，所述第三定位柱的用于夾持所述實心圓柱形工件的端面的截面的弧度為0.1-0.4。

6.根據權利要求5所述的用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置，其特征在于，所述第三定位柱的用于夾持所述實心圓柱形工件的端面的截面的弧度為0.3。

7.根據權利要求4所述的用于實心圓柱形工件磁控濺射鍍膜的夾持裝置，其特征在于，所述第三定位柱的用于夾持所述實心圓柱形工件的端面的最大直徑是所述實心圓柱形工件的端面的直徑的1.1-1.3倍。