[實用新型]一種硅片切割液冷卻裝置

有效

• 申請號: 201720155180.X
• 申請日: 2017-02-21
• 公開（公告）號: CN206493464U
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 崔建榮
• 申請（專利權）人: 嘉興融茂精密機械有限公司
• 主分類號: B28D7/02
• 分類號: B28D7/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片切割液冷卻裝置，包括箱體（1）、冷卻液進口（2）、冷卻液出口（3）和切割液冷卻管道（4），所述切割液冷卻管道（4）自左向右橫貫所述箱體（1），所述冷卻液進口（2）和所述冷卻液出口（3）位于所述箱體（1）的側壁，其特征在于：所述切割液冷卻管道（4）位于所述箱體（1）內的部分自兩者的連接處向所述箱體（1）中心位置呈逐漸向上下兩端展開，前后方向上靠攏的狀態，位于所述箱體（1）中間部分的所述切割液冷卻管道（4）呈內部中空的薄板狀。

2.根據權利要求1所述的一種硅片切割液冷卻裝置，其特征在于：所述箱體（1）內的所述切割液冷卻管道（4）部分呈前后波動的波浪形。

3.根據權利要求1所述的一種硅片切割液冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻液進口（2）連通有延伸管道（5），所述延伸管道（5）上沿軸向設置有若干貫穿孔（6），所述延伸管道（5）位于所述箱體（1）內且水平分布在所述切割液冷卻管道（4）的上方。

4.根據權利要求1所述的一種硅片切割液冷卻裝置，其特征在于：所述切割液冷卻管道（4）穿過所述箱體（1）一端設有水溫檢測器（7）。

5.根據權利要求1所述的一種硅片切割液冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻液進口（2）連接有節溫器（8）。

6.根據權利要求1所述的一種硅片切割液冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻液出口（3）連接有冷凝器（9），所述冷凝器（9）再連接有水泵（10），所述水泵（10）則連接著所述冷卻液進口（2）。

7.根據權利要求1所述的一種硅片切割液冷卻裝置，其特征在于：所述切割液冷卻管道（4）左端的內部設有精度為16目的金屬過濾網（11）。

8.根據權利要求7所述的一種硅片切割液冷卻裝置，其特征在于：所述切割液冷卻管道（4）在設有所述過濾網（11）位置的下端連通有外接管道（12），所述外接管道（12）上設有閥門（13）以供啟閉。

9.根據權利要求1所述的一種硅片切割液冷卻裝置，其特征在于：所述切割液冷卻管道（4）連通有砂漿泵（14）。