[實用新型]一種硅片切割液冷卻裝置

有效

• 申請號: 201720155180.X
• 申請日: 2017-02-21
• 公開（公告）號: CN206493464U
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 崔建榮
• 申請（專利權）人: 嘉興融茂精密機械有限公司
• 主分類號: B28D7/02
• 分類號: B28D7/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種冷卻裝置，特別涉及一種硅片切割液冷卻裝置。

背景技術

在硅片切割過程中，由于鋼絲和硅塊之間的高速摩擦會產生大量的熱量需要切割液對切割處進行降溫，導致切割后的切割液溫度升高，由于切割過程中對切割液溫度有嚴格的要求，所以需要對切割液進行冷卻調溫之后再進行循環利用。

例如公告號為CN205482470U的專利，公開了一種硅片切割液冷卻裝置，包括進液腔，所述進液腔一側外沿設有第一法蘭，所述進液腔端面下部設有切割液進口,所述進液腔遠離切割液進口的一端設有腔體，所述腔體靠近進液腔端部的一側設有第二法蘭,所述第一法蘭與第二法蘭之間設有第一法蘭墊,所述腔體靠近進液腔的一端設有過濾網，所述過濾網遠離進液腔的一側為兩個相同形狀的切割液冷卻管道，所述腔體靠近第二法蘭的一側設有冷卻液出口，所述腔體遠離過濾網的一端設有切割液出口，所述腔體靠近切割液出口的一側設有冷卻液進口，所述過濾網為細密金屬網狀結構。

上述現有技術是通過切割液冷卻管道輸送切割液再和管道外的冷卻水進行換熱冷卻，但切割液在管道內輸送時和管道接觸不充分，以至于切割液和冷卻水的接觸不充分，冷卻效果不佳。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種硅片切割液冷卻裝置，通過將箱體內的切割液冷卻管道設置為波浪形的薄板狀以增大切割液冷卻管道和箱體內冷卻液的接觸面積，從而達到極佳的切割液冷卻效果。

本實用新型的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：一種硅片切割液冷卻裝置，包括箱體、冷卻液進口、冷卻液出口和切割液冷卻管道，所述切割液冷卻管道自左向右橫貫所述箱體，所述冷卻液進口和所述冷卻液出口位于所述箱體的側壁，所述切割液冷卻管道位于所述箱體內的部分自兩者的連接處向所述箱體中心位置呈逐漸向上下兩端展開，前后方向上靠攏的狀態，位于所述箱體中間部分的所述切割液冷卻管道呈內部中空的薄板狀。

通過采用上述方案，切割液在切割液冷卻管道內流動，當切割液流動到箱體內切割液冷卻管道的部分時，切割液冷卻管道和箱體內的冷卻接觸進行熱交換，冷卻液從冷卻液進口處進入箱體內經過熱交換之后再從冷卻液出口排出箱體，將切割液冷卻管道設置為薄板狀增大了與冷卻液接觸的面積，使切割液冷卻管道和冷卻液熱交換更徹底，對切割液的冷卻效果更佳。

本實用新型進一步設置為：所述箱體內的所述切割液冷卻管道部分呈前后波動的波浪形。

通過采用上述方案，將切割液冷卻管道設置為波浪形，增長了切割液冷卻管道和箱體內冷卻液進行熱交換的長度，從而使切割液熱交換時間更長，切割液冷卻效果更佳。

本實用新型進一步設置為：所述冷卻液進口連通有延伸管道，所述延伸管道上沿軸向設置有若干貫穿孔，所述延伸管道位于所述箱體內且水平分布在所述切割液冷卻管道的上方。

通過采用上述方案，冷卻液從冷卻液進口進入延伸管道再通過延伸管道上的貫穿孔進入箱體內，延伸管道水平分布在切割液冷卻管道的上方使自貫穿孔內流出的冷卻液均勻的分布在箱體內和切割液冷卻管道進行換熱，從而箱體內的切割液冷卻管道總體都在和冷卻液進行換熱，使切割液的冷卻效果更佳。

本實用新型進一步設置為：所述切割液冷卻管道穿過所述箱體一端設有水溫檢測器。

通過采用上述方案，通過水溫檢測器可以隨時掌握切割液在冷卻后的溫度，以至于可以針對切割液溫度對裝置進行調整將切割液溫度控制在合適的范圍內。

本實用新型進一步設置為：所述冷卻液進口連接有節溫器。

通過采用上述方案，通過調節節溫器可以控制冷卻液進入箱體內的量的多少，從而影響冷卻液和切割液冷卻管道的換熱效果，達到控制經過冷卻液冷卻后的切割液溫度的效果。

本實用新型進一步設置為：所述冷卻液出口連接有冷凝器，所述冷凝器再連接有水泵，所述水泵則連接著所述冷卻液進口。

通過采用上述方案，冷凝器可以對與切割液冷卻管道換熱過后的冷卻液進行降溫，水泵則帶動冷卻液循環流動、持續不斷的和切割液冷卻管道進行換熱，對切割液進行降溫。

本實用新型進一步設置為：所述切割液冷卻管道左端的內部設有精度為16目的金屬過濾網。

通過采用上述方案，在切割液冷卻管道內設置精度為16目的金屬過濾網，過濾網可以過濾掉切割液內絕大部分的硅材料粉末顆粒，防止硅材料粉末顆粒在一段時間后堵塞住箱體內薄板部分的切割液冷卻管道。

本實用新型進一步設置為：所述切割液冷卻管道在設有所述過濾網位置的下端連通有外接管道，所述外接管道上設有閥門以供啟閉。