[實用新型]鍵合壓板有效
| 申請號: | 201720152724.7 | 申請日: | 2017-02-20 |
| 公開(公告)號: | CN206574683U | 公開(公告)日: | 2017-10-20 |
| 發明(設計)人: | 陳莉;司文全;李金剛 | 申請(專利權)人: | 無錫華潤安盛科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京博思佳知識產權代理有限公司11415 | 代理人: | 陳蕾 |
| 地址: | 214028 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 壓板 | ||
1.一種鍵合壓板,其特征在于,包括:
壓板本體;
至少一個讓位口,貫穿所述壓板本體,用于暴露器件的待鍵合區域;
按壓部,位于所述壓板本體的一側,用于按壓固定所述器件;
其中,所述按壓部中設置有與所述器件上鍵合后的線弧相對應的讓位間隙。
2.根據權利要求1所述的鍵合壓板,其特征在于,所述讓位口為矩形,所述按壓部沿著所述讓位口的邊緣設置,所述讓位間隙設置在所述按壓部的至少一條邊上。
3.根據權利要求2所述的鍵合壓板,其特征在于,所述讓位間隙設置在所述按壓部的每條邊上。
4.根據權利要求2所述的鍵合壓板,其特征在于,所述壓板本體用于沿預設導向結構運動;
所述讓位間隙設置在所述按壓部垂直于所述導向結構的至少邊一條上。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的鍵合壓板,其特征在于,所述按壓部包括多個用于與所述器件點接觸的子按壓部,相鄰的子按壓部之間形成有所述讓位間隙。
6.根據權利要求5所述的鍵合壓板,其特征在于,所述子按壓部可伸縮地設置在所述壓板本體中。
7.根據權利要求5所述的鍵合壓板,其特征在于,所述子按壓部可滑動地設置在所述壓板本體中。
8.根據權利要求1至4中任一項所述的鍵合壓板,其特征在于,還包括:
固定部,設置在所述壓板本體兩端;
其中,在所述固定部中設置有固定孔,用于與連接固定設備。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





