[實用新型]一種新型納米壓印設備

有效

• 申請號: 201720147545.4
• 申請日: 2017-02-19
• 公開（公告）號: CN206440934U
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發明（設計）人: 冀然
• 申請（專利權）人: 青島天仁微納科技有限責任公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種新型納米壓印設備。

背景技術

納米壓印設備有著廣泛的應用領域，如量子磁碟、DNA電泳芯片、生物細胞培養膜、波導起偏器、硅場效應管、納米機電系統、微波集成電路、亞波長器件、納米電子器件、納米集成電路、量子存儲器件、光子晶體陣列和OLED平板顯示陣列等。納米壓印技術正逐漸成為微納加工技術的一種重要方式。

納米壓印技術最早在1995年被率先提出，這是一種不同與傳統光刻技術的全新圖形轉移技術。納米壓印技術的定義為：不使用光線或者輻照使光刻膠感光成形，而是直接在硅襯底或者其它襯底上利用物理學的機理構造納米尺寸圖形。傳統納米壓印技術主要有三種:熱塑納米壓印技術、紫外固化壓印技術和微接觸納米壓印技術。

紫外固化納米壓印技術由德州大學提出。主要工藝過程：先制備高精度模板，而且要求模板對紫外光是透明的，一般采用硅材質作為模板；在基板上旋涂一層液態光刻膠，光刻膠的厚度為600nm ~ 700nm；光刻膠要求載度低，對紫外光敏感；利用較低壓力將模板壓在光刻膠之上，液態光刻膠填滿模板空隙，從模板背面用紫外光照射，紫外光使光刻膠固化；脫模后用反應離子蝕刻方式除去殘留光刻膠，將圖案從模板轉移到基板上。

現有技術中采用硅材質制作模板，直接用模板來對基板壓印納米結構，模板使用壽命有限，因此多次壓印后需要經常重新制作，模板的制作工藝復雜，成本高，費時費力，加大了納米壓印的成本。

實用新型內容

為了解決以上所述的技術問題，本實用新型提出了如下技術方案：

一種新型納米壓印設備，包括控制單元、機體，還包括底端固定在機架上的上下移動裝置、上下移動裝置上方安裝有用于放置模板或基板的托板，所述托板上設有環形槽，所述環形槽和真空泵或抽氣泵相接通，所述托板下方設有加熱裝置；還包括固定在機架且位于托板上方的壓板，還包括用于將PET膜固定于夾板和壓板之間的夾緊裝置，所述壓板的上方設有紫外線光照燈，所述壓板上設有用于通過紫外線的透明部分，所述夾板上設有用于通過基板或者模板的孔。

進一步，所述上下移動裝置為伺服電動缸，所述伺服電動缸為直驅式，由伺服電機和滾珠絲杠組成。

進一步，所述夾緊裝置為夾緊氣缸，采用夾緊氣缸對夾板施加壓力將PET膜固定在壓板和夾板之間。

進一步，壓板上的透明部分為安裝在壓板中央的玻璃。

相對于現有技術，本實用新型的有益效果為：

將硅材料制作的模板上的納米結構轉印到PET膜上，采用PET膜進行納米結構的壓印，使得模板可以被反復使用，增加了模板的使用壽命，PET膜價格低，并且具備可回收性，大大減低了納米壓印工藝的成本。

附圖說明

后文將參照附圖以示例性而非限制性的方式詳細描述本實用新型的一些具體實施例。附圖中相同的附圖標記標示了相同或類似的部件或部分。本領域技術人員應該理解，這些附圖未必是按比例繪制的。附圖中：

圖1為本實用新型整體結構示意圖；

圖2為本實用新型托板的整體結構示意圖；

圖3為本實用新型壓板的整體結構示意圖；

圖4為本實用新型夾板的整體結構示意圖；

具體實施方式：

一種新型納米壓印設備，包括控制單元、機架1，底端端垂直固定在機架上的上下移動裝置2，上下移動裝置上方安裝有用于放置模板或基板的托板3（模板或基板圖中未示出），所述托板上設有環形槽4，所述環形槽和真空泵5相接通，所述托板下方設有加熱裝置6，還包括固定在機架且位于托板上方的壓板7，還包括用于將PET膜9固定于夾板8和壓板之間的夾緊裝置13，所述壓板的上方設有紫外線光照燈10，所述壓板上設有用于通過紫外線的透明部分11，所述夾板上設有用于通過基板片或者模板的孔12。壓板上的透明部分，為安裝在壓板中央的玻璃，夾緊裝置采用夾緊氣缸。其中加熱裝置為現有技術，在此不再贅述。

其工作步驟如下：

第一步，將PET膜放置于壓板和夾板之間，然后采用夾緊氣缸對夾板施加壓力將PET膜牢牢地固定在壓板和夾板之間，

第二步，將具有納米結構的模板放置在托板上（模板圖中未示出），模板和環形槽形成密閉空間，通過真空泵或者抽氣泵將密閉空間中的空氣吸出，模板被牢牢地固定在托板之上。

第三步，啟動加熱裝置，加熱裝置開始對模板進行加熱。

第四步，上下移動裝置帶動托板向上移動，模板通過夾板上的孔熱壓于PET膜上，模板上的納米結構被轉移到了PET膜上。