[實用新型]一種新型納米壓印設備

有效

• 申請號: 201720147545.4
• 申請日: 2017-02-19
• 公開（公告）號: CN206440934U
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發明（設計）人: 冀然
• 申請（專利權）人: 青島天仁微納科技有限責任公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型納米壓印設備，包括控制單元、機體，其特征在于：還包括底端固定在機架上的上下移動裝置、上下移動裝置上方安裝有用于放置模板或基板的托板，所述托板上設有環形槽，所述環形槽和真空泵或抽氣泵相接通，所述托板下方設有加熱裝置；還包括固定在機架且位于托板上方的壓板，還包括用于將PET膜固定于夾板和壓板之間的夾緊裝置，所述壓板的上方設有紫外線光照燈，所述壓板上設有用于通過紫外線的透明部分，所述夾板上設有用于通過基板或者模板的孔。

2.如權利要求1所述的一種新型納米壓印設備，其特征在于：所述上下移動裝置為伺服電動缸，所述伺服電動缸為直驅式，由伺服電機和滾珠絲杠組成。

3.如權利要求1所述的一種新型納米壓印設備，其特征在于：所述夾緊裝置為夾緊氣缸，采用夾緊氣缸對夾板施加壓力將PET膜固定在壓板和夾板之間。

4.如權利要求1所述的一種新型納米壓印設備，其特征在于：壓板上的透明部分為安裝在壓板中央的玻璃。