[實用新型]一種自動精確移位的鍍膜機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720145283.8 | 申請日: | 2017-02-17 |
| 公開(公告)號: | CN206599604U | 公開(公告)日: | 2017-10-31 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 林正亮;宣華偉;姚林生 | 申請(專利權(quán))人: | 鄭州華翔電子信息技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司: | 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司51230 | 代理人: | 王正楠 |
| 地址: | 450000 河南省鄭*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 自動 精確 移位 鍍膜 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及鍍膜機領(lǐng)域,特別是涉及一種自動精確移位的鍍膜機。
背景技術(shù)
薄膜電容器是電容器的一種,具有損耗小、絕緣電阻高、頻率特性好、可靠性高、溫度特性好等優(yōu)點,有著較為廣泛的應(yīng)用;目前薄膜電容器從電極形式上可以分為金屬箔式和金屬化式二種,金屬化薄膜電容器體積小、容量大、有自愈特性、過壓能力高的優(yōu)點,隨著電子整機更新?lián)Q代周期的不斷縮短,以及輕薄短小和數(shù)字化要求的提高,成為薄膜電容器的主流,因而金屬化薄膜是制作薄膜電容器的主要原材料,并對電容器的特性有直接影響。
為了保證金屬化薄膜較大的耐壓能力和耐電流能力,通常會對金屬化薄膜電容器進(jìn)行薄膜留邊處理和金屬化層加厚處理,通常不同的應(yīng)用場合對耐壓能力和耐電流能力的要求不相同,以致鍍膜機對薄膜進(jìn)行金屬化處理時留邊處理和加厚處理的寬度要求不同,需要根據(jù)客戶所需具體定制不同留邊寬度和加厚寬度,現(xiàn)有的鍍膜機為手動測量處理,更換不同尺寸的擋板進(jìn)行遮擋,效率低,精度低。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于:針對現(xiàn)有鍍膜機不能提供自動精確定位功能,以致鍍膜機進(jìn)行留邊和加厚處理時效率低、精度低的技術(shù)問題,提供一種自動精確移位鍍膜機。
本實用新型采用的技術(shù)方案如下:
一種自動精確移位鍍膜機,包括由卷繞室、鍍膜室組成的真空室,真空室接通一抽真空系統(tǒng),鍍膜室內(nèi)設(shè)置有基片架、擋板以及蒸發(fā)源,擋板設(shè)置在基片架下方;所述擋板為可伸縮式擋板,分為固定端和自由端,鍍膜室內(nèi)靠近擋板固定端的壁體上設(shè)置有導(dǎo)軌,導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)置有滑塊,擋板固定端與滑塊連接,擋板自由端垂直連接有擋板驅(qū)動機構(gòu);
所述擋板驅(qū)動機構(gòu)具體包括動力裝置,與動力裝置同軸連接的滾珠絲杠,滾珠絲杠的配套螺母通過連接件與所述擋板自由端連接,所述動力裝置下方還連接有移動驅(qū)動輪,移動驅(qū)動輪下方設(shè)有固定導(dǎo)軌,移動驅(qū)動輪設(shè)置在固定導(dǎo)軌上,所述移動驅(qū)動輪連接有驅(qū)動機構(gòu),驅(qū)動機構(gòu)連接有控制器,控制器連接有輸入單元。
當(dāng)需要進(jìn)行留邊或加厚處理時,控制器控制擋板上移擋住需要留邊的區(qū)域或不需要加厚的區(qū)域,具體需要遮擋的寬度,可通過控制器連接的輸入單元進(jìn)行設(shè)置;控制器控制驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動移動驅(qū)動輪在固定導(dǎo)軌上進(jìn)行往返移動,已達(dá)到伸縮擋板的目的;動力裝置驅(qū)動滾珠絲杠旋轉(zhuǎn),使?jié)L珠絲杠的配套螺母在滾珠絲杠上做上下往返運動,以達(dá)到擋板上下移動的目的。
上述方案中,還包括光柵傳感組件,光柵傳感組件包括標(biāo)尺光柵、光柵讀數(shù)頭,光柵讀數(shù)頭安裝在基片架上,標(biāo)尺光柵與滾珠絲杠頂端連接。通過加入光柵傳感組件,可以測量擋板具體移動的位移。
進(jìn)一步地,所述光柵傳感組件與所述控制器連接,形成閉環(huán)控制。
上述方案中,所述擋板固定端與基片架邊緣對齊,保證基片邊緣能夠被遮擋。
上述方案中,所述基片架連接有一動力機構(gòu),所述動力機構(gòu)驅(qū)動所述基片架進(jìn)行正反向旋轉(zhuǎn)動作,當(dāng)需要進(jìn)行雙面蒸鍍時,動力機構(gòu)驅(qū)動基片架旋轉(zhuǎn)180°進(jìn)行正反面蒸鍍。
上述方案中,所述蒸發(fā)源為點式蒸發(fā)源,數(shù)量為多個且均勻地設(shè)置在基片架下方,保證均勻蒸鍍。
綜上,由于采用了上述技術(shù)方案,本實用新型的有益效果是:
本實用新型通過擋板驅(qū)動機構(gòu)結(jié)構(gòu)上的改進(jìn)和控制系統(tǒng)的加入,實現(xiàn)了擋板的自動移位功能,大大提高了留邊處理和加厚處理的效率和精度。
光柵傳感組件的加入,可以檢測擋板具體移動的位移,并反饋給控制器,形成閉環(huán)控制,提高控制精度。
附圖說明
圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖中標(biāo)記:1-卷繞室,2-鍍膜室,21-基片架,22-擋板,23-蒸發(fā)源,24-導(dǎo)軌,25-滑塊,26-動力裝置,27-滾珠絲杠,28-連接件,29-移動驅(qū)動輪,210-固定導(dǎo)軌,211-固定端,212-自由端,213-動力機構(gòu),3-真空室,4-抽真空系統(tǒng),5-光柵傳感組件,51-標(biāo)尺光柵,52-光柵讀數(shù)頭。
具體實施方式
為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實施例,對本實用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實施例僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
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C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





